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- 2023-08-15 发布于四川
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本实用新型涉及一种工业自动化生产用静电吸附装置,其用于产生静电以吸附工件;它包括支撑基板、硅胶基片、硅胶盖片和电极片,所述硅胶基片和硅胶盖片层叠设置,且所述电极片夹设在硅胶基片和硅胶盖片之间,所述硅胶基片固定在支撑基板上,所述电极片具有向外侧伸出的高压接线端子。采用了硅胶代替了现有技术中常用的柔性电路板和陶瓷,不仅降低静电吸附装置的制造成本,而且还有效的增加结构的制造良品率,同时改变了现有的静电吸附装置硬度不可调的缺点,增加了在工业中的适用性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210099825 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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