原创力文档- 3
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- 2023-08-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅片传输线，包括硅片转盘、硅片搬运装置和硅片传输台，硅片转盘包括转台和若干夹持平台，夹持平台均匀分布在转台外周，转台带动夹持平台转动；硅片搬运装置包括吸附传输平台，吸附传输平台的一端设置在转盘一侧的夹持平台上方，吸附传输平台的另一端设置硅片传输台的上方，所述吸附传输平台包括皮带传输线和吸孔，吸孔吸气能够将所述硅片从夹持平台上吸起，吸附在所述皮带传输线上，经所述皮带传输线传送到硅片传输台的上方，吸孔停止吸气，硅片落在硅片传输台上。本实用新型能够实现硅片在多个工位之间快速搬运，且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210123725 U
(45)授权公告日
2020.03.03
(21)申请号 20192
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