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第一页，共十五页，2022年，8月28日 Contents 5、 FED的发展历史和前景 4、 FED技术的发展 3、 FED的优点 2、 FED的基础工艺与特点、 1、 FED简介 第二页，共十五页，2022年，8月28日 FED简介 FED---Field Emission Display (or Field Effection Display)? 1、是指所谓电子发射，电子从阴极逸出进入真空或其它气体媒质中的过程。 2、所有物体都含有大量的电子，常态下不逸出物体，当电子获得足够的能量，足以克服阻碍其逸出物体表面的力时，便产生了电子发射。 第三页，共十五页，2022年，8月28日 FED的基础工艺与特点 FED的基础工艺有三大部分，如下图所示。 第四页，共十五页，2022年，8月28日 FED三大工艺 A B C FED A B C (1)真空工艺 (2)光电子、半导体工艺 (3)微、纳米制造工艺 第五页，共十五页，2022年，8月28日 FED三大工艺 （1） （2） （3） （2） （1） (1)真空工艺：包括真空包装，上、下玻璃板间的支撑、吸气剂、表面处理、真空封接材料。(2)光电子、半导体工艺：包括荧光粉，荧光粉的涂敷，保护荧光粉不受离子轰击的膜层。(3)微、纳米制造工艺：包括场发射阵列、电极结构形成，聚焦电极、场发射控制，防止放电的结构。 第六页，共十五页，2022年，8月28日 FED的优点 与CRT-TV、PDP-TV、LCD-TV相比，FED-TV的功耗是最小的，如图2所示。所以FED具有薄平板(厚度约2~3mm)、自发光、无图像畸变、大视角(约170o)、快响应，低功耗的特点。下图为各类电视机功耗的比较。 第七页，共十五页，2022年，8月28日 各类电视机功耗的比较 第八页，共十五页，2022年，8月28日 FED技术的发展 1、Spindt型微发射FED的生产已初具规模 Spindt型FED厚度为2~3mm， 阴极、门电极和聚焦极由铌(Nb)制成，发射微尖材料为钼(Mo)，阳极材料为铝(Al)。如下图所示 ? 一个阴极单元示意 第九页，共十五页，2022年，8月28日 Spindt型微发射FED简介 1、 2、 4、 3、 3英寸彩色FED的屏尺寸为30x70mm、像素数为184x80xRGB，亮度为600cd/m2、功率为4W，用于汽车发动机显示器。 经过23000h使用后，钼微尖完好如初。进一步减小门极开口直径，可获得更大的电流密度或降低驱动电压； 采用新型发蓝光荧光粉AlN:Eu后，与常用发蓝光荧光粉Y2SiO3:Ge 相比较，色域更宽，老化寿命可增加一个数量级。 对于Y2SiO3:Ge荧光粉轰击电荷量累计达到120C/cm2时，亮度已降为初始值的50%，而对于AlN:Eu，这个值为1200C/cm2(C是库仑)。 Spindt型FED最适合中、小型显示屏，单色FED已进入市场，全彩色型FED已开始启动大生产。 第十页，共十五页，2022年，8月28日 2、碳纳米管(CNT)场致发射显示(CNT-FED)屏的均匀性获重大突破 碳纳米管以其优异的场致发射特性和可以用较简单工艺制造大尺寸发射阵列，特别适于用制造大尺寸FED显示屏，但由于均匀性的限制，一直未能进入高质量图像显示市场。 法国研究人员采用将触媒体层光刻成所需的图案，在其上生长出CNT。每个沟道宽12mm，间距25mm，每个沟道中有10个4.5mm 第十一页，共十五页，2022年，8月28日