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本发明涉及单晶硅制造技术领域，尤其涉及直拉法制备单晶硅的工艺。本发明提供的一种石英坩埚，包括石英坩埚本体和坩埚添加剂涂层，所述本体的内表面全部或部分设有坩埚添加剂涂层，所述坩埚添加剂涂层为碱式碳酸镁和/或碳酸镁。本发明通过引入一种新型的坩埚添加剂，能够在拉晶过程中反应合成在石英坩埚的内表面，显著提高石英坩埚的耐高温性能，且不易脱落，在拉晶过程中保证了加晶稳定性，还可以降低氧含量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116607205 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202310537545.5 C23C 4/131 (2016.01)
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