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光学薄膜激光损伤测试技术 激光损伤阈值测试规范 ISO11254-1.2 “Lasers and laser-related equipment—Determination of laser induced damage threshold of optical surface” (2000) “Laser induced damage threshold and certification procedures of optical materials”, NASA reference publication 1395 (1997) 结合我们多年的工作经验 第三十页，共七十页，2022年，8月28日 损伤测试的重要概念 损伤(damage) 在放大至少100倍条件下可观测的表面特性的永久性变化。 1-on-1测试(1-on-1 test) 激光在每个测试点仅仅辐照一次。 损伤阈值(damage threshold) 当超过此激光能量密度或功率密度时，对样品造成的损伤的几率是限定的。 第三十一页，共七十页，2022年，8月28日 损伤测试的重要概念 靶面(target plane) 激光和样品作用区域沿样品表面的切线表面。 光斑有效面积(effective beam area) 激光能量与最大能量密度的比值或者激光功率与最大功率密度的比值。 光斑有效半径(effective beam radius) 激光有效面积的平方根除以pi。 脉冲有效宽度 脉冲总能量与脉冲最大功率的比值。 第三十二页，共七十页，2022年，8月28日 损伤测试的重要概念 能量密度(fluence) 其中E0是能量，ω0是1/e2直径。 高斯光束(Gaussian beam) 能量截面符合下式的被称为高斯光束 其中E0是能量，ω0是1/e2直径。 第三十三页，共七十页，2022年，8月28日 激光损伤阈值测试标准装置 第三十四页，共七十页，2022年，8月28日 其他要求（稳定性，监控等） 聚焦系统 光斑高斯直径1－1.25mm 透镜口径是光斑尺寸的6倍 透镜最小的f数为50 激光输出能量较小时可适当的缩小光斑，但不得小于0.4mm 第三十五页，共七十页，2022年，8月28日 其他测试方法 S-on-1 基本与1-on-1相同 维持恒定的能量密度 重视功能上的意义，即用功能性损伤阈值衡量 R-on-1 能量以斜坡方式递增 预处理效果 N-on-1 是R-on-1方法的简化 第三十六页，共七十页，2022年，8月28日 实验装置建立及参数测量 第三十七页，共七十页，2022年，8月28日 光斑尺寸的测量 相纸削波成像法 刀口扫描法 科学CCD成像法 第三十八页，共七十页，2022年，8月28日 参数测量 波长 入射角 p光偏振角 脉冲重复率 靶面光束半径 靶面有效光斑半径 脉冲宽度 有效脉冲宽度 每一能量密度下辐照的最小点数 第三十九页，共七十页，2022年，8月28日 损伤阈值的拟合与确定 阈值的确定是通过损伤几率的方法得出； 计算出每一个能量密度台阶辐照的10点中的损伤几率； 然后以能量密度为横坐标，损伤几率为纵坐标，作出能量密度与损伤几率图； 再对图中数据做线性拟合，拟合线与横坐标的交点处的能量密度即为0%损伤几率。 第四十页，共七十页，2022年，8月28日 损伤阈值的拟合与损伤形貌 第四十一页，共七十页，2022年，8月28日 测试报告 测试单位信息（单位名称、测试时间、测试人）； 样品信息（样品种类、样品提供者、样品的储存清洗方法、样品使用条件、样品的生产日期）； 测试信息（测试设备包括聚焦系统情况，使用激光系统参数、样品上测试点的排布信息、损伤判别方法、样品的储存和清洁方法、测试环境）； 测试结果（造成20%～80%损伤几率范围的能量密度作用下的典型损伤型貌、能量密度与损伤几率拟合图，阈值结果）； 第四十二页，共七十页，2022年，8月28日 提高薄膜阈值的常用方法 减少材料和薄膜中有害杂质的含量提高破坏阈值 稳定氧化锆材料的结晶相提高破坏阈值 离子清洗提高破坏阈值 氧分压的改变提高破坏阈值 控制缺陷率提高破坏阈值 退火过程提高三倍频膜的破坏阈值 离子后处理提高破坏阈值 保护膜提高破坏阈值 激光预处理提高破坏阈值 沉积技术提高破坏阈值 第四十三页，共七十页，2022年，8月28日 强激光薄膜相关的基础研究 优质的强激光薄膜 建设一个完备的薄膜相关检测平台 工艺控制水平 预处理技术应用 工艺过程 控制与固化 专用镀膜 机的研制 阈值 问题 面形 问题 小光斑预 处理技术 其他预 处理技术 优质的强激光薄膜 预处