改变不同反应功率在自支撑金刚石衬底上ZnO材料的沉积制备.docVIP

2- 改变不同反应功率在自支撑金刚石衬底上ZnO材料的沉积制备 The Preparation of ZnO Film with various Power on Diamond Substrates 改变不同反应功率在自支撑金刚石衬底上ZnO材料的沉积制备 I- 摘 要 氧化锌是一种具有多功能的紫外发光的材料，物理特性丰富且性能优良。其能带隙较大、激子束缚能也较大，并且透明度高，有优异的常温发光性能，在半导体领域有广泛应用：液晶显示器、发光二极管、薄膜晶体管、光学探测器、面声波器件等产品中均有广泛的应用。目前，表面波器件的研制已经相当早且广泛应用了氧化锌材料。以ZnO/Diamond为基础