角位置误差对回转误差测量的影响规律研究.docxVIP

? ? 角位置误差对回转误差测量的影响规律研究 ? ? 张 志，夏仰球，米 良，周怡帆，谢罗峰，殷 鸣 (1. 中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621900; 2. 四川大学机械工程学院，四川 成都 610065;3. 国家机床产品质量监督检验中心（四川），四川 成都 610200）) 0 引 言 由于空气静压支承的超精密主轴具有低摩擦、高精度的性能，被广泛应用于超精密机床和测量设备中。在超精密主轴的设计、制造、安装等过程中，由于各种不确定因素的存在，会导致超精密主轴本身产生运动误差，这些误差通常包括轴向误差、径向误差以及角度偏摆等[1-2]。有实验结果表明[3]：精密车削的圆度误差约有30%～70%是由于主轴轴线的径向回转误差引起的，且加工的精度越高，所占的比例越大。因此，进行超精密主轴的旋转轴线径向回转误差的精密测量十分必要。 径向回转误差测量主要有打表法、单点法、多点法等[4-5]。以上方法是使用位移传感器对安装在旋转轴线上的标准器进行测量的，在测量过程中会不可避免的引入标准器形状误差和标准器安装偏心误差，因此，对于超精密测量必须采用误差分离技术将旋转轴线径向回转误差分离出来[6-7]。目前常用的误差分离方法有反转法、多步法、多点法，这三种方法分离得到的径向回转误差都能达到纳米级别[8]。 从理论上讲，误差分离方法可以将标准器形状误差从旋转轴线径向回转误差中完全分离，但是在实际测量，尤其是超精密测量中，会存在许多因素导致测量的结果不精确，从而影响分离的径向回转误差。国内外学者对这些影响径向回转误差测量的因素进行了许多分析研究。Cappa等[9]对测量中的误差源进行了分析，指出标准器和传感器的位置误差、传感器的倾斜和未对准误差、标准器的偏心等都会对旋转轴线径向回转误差造成影响，并进行了定量地计算。崔海龙等[10]基于反转法研究了旋转轴线电机驱动、反转前后角度误差、工件偏心量、轴向运动误差对径向运动精度的影响。陈衡等[11]运用反转法对超精密主轴旋转轴线的回转误差进行了测量，对测量过程中导致测量不准的一些因素，如传感器测量球面靶标的非线性误差、电容传感器安装误差引起的测量误差以及环境因素的影响进行了研究，并提出了一个完整的回转误差不确定度评定过程。Marsh等[12]在比较3种误差分离方法的试验中指出，旋转轴线的转动不稳定会引起测量数据中角度和位移的不同步，但未就可能引起的测量误差展开分析研究。 在测量中由于编码器误差、安装误差、电机转矩波动以及环境扰动，传感器自身误差[13-14]等不确定因素，会造成旋转轴线转动速度波动而使转动角度实际值与理想值不一致，两者差值即为角位置误差。从以上相关研究可以看出，在众多的影响因素中角位置误差是影响旋转轴线回转误差测量不准的因素之一，但尚未发现有关角位置误差对径向回转误差测量影响规律的系统性研究。因此本文在前人研究的基础上，通过分析基于反转法的超精密径向回转误差测量原理，建立角位置误差对传感器位移测量影响的数学模型，基于模型仿真分析了角位置误差对位移测量误差和径向回转误差分离结果的影响，并进行了试验验证。 1 超精密径向回转误差测量原理分析 1.1 径向回转误差的误差分离技术 在进行旋转轴线径向回转误差测量时，实际的旋转轴线是不可见的，无法直接对其进行测量，因此通常需要用传感器对装在主轴的标准器(标准球、标准棒等)进行测量来间接测量旋转轴线的径向回转误差，然而标准器存在圆度误差和安装偏心误差，因此传感器测得数据中会不可避免的混入标准器的圆度误差和偏心误差[15]。对于纳米级的超精密径向回转误差测量，混入的圆度误差和偏心误差会对径向回转误差产生不可忽略的影响，必须用误差分离技术从传感器测量数据中分离并去除标准器的圆度误差和偏心误差，从而得到精确的回转误差，如图1所示。 图1 误差分离示意图 1.2 反转法测量原理 反转法是诸多误差分离技术中的一种，其基本原理如图2所示。首先轴线旋转一圈，位移传感器获得不同角度 φ的位移数据T(φi)；接着将标准器(标准球或标准棒)和位移传感器相对于旋转轴线同步旋转180°，轴线再旋转一圈，获得T′(φi)。其中T(φi)，T′(φi)均包含有标准器的圆度形状误差信号和旋转轴线的径向回转误差信号，并有如下关系： 图2 反转法原理图 式中：S(φi)——标准器的圆度误差信号； R(φi)——旋转轴线径向回转误差信号。 由式(1)和式(2)，容易得到标准器圆度误差R(φi)和主轴径向回转误差S(φi)： 在理论上，用反转法可以将传感器测量数据中的径向回转误差和标准器圆度误差完全分离。但是从式(3)和式(4)可以看出，角度参量直接作用于R(φi)和S(φi)，即使分离后角位置误差也将是影响传感器测量数据准确性的因素之一。在实际测量中，由