光电子技术激光器种类及其特性.pptVIP

南师大光电技术江苏省重点实验室 南师大光电技术江苏省重点实验室 南师大光电技术江苏省重点实验室 光电子技术激光器种类及其特性 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 第一页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 激光器分类 按工作物质分：固体（Nd：YAG）、气体（He-Ne、CO2）、液体、染料、半导体、自由电子等； 按泵浦方式分：光泵浦、电泵浦、化学能泵浦、热泵浦等、磁泵浦； 按辐射特征分：连续、脉冲； 按光谱范围分：可见光谱、远红外光谱、紫外光谱等； 按能级分：三能级系统、四能级系统。 4.1 激光器分类 4 激光器种类和特性 第二页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 1.4 典型激光器介绍 气体激光器的分类 原子---产生激光作用的是没有电离的气体原子，所采用的气体主要是 氦、氖、氩、氪、氙等惰性气体，有时也采用氯、溴、碘、氮、硫、碳、氧等原子气体，或铯、镉、铜、锰、锡等金属原子蒸气。 分子（准分子）---产生激光作用的是没有电离的气体分子，所采用的分子气体有： CO、N2、 O2、 CO2、N2O和水蒸气等；准分子激光器的工作气体在常态下为原子，当受到激发时，可暂时形成寿命很短的分子，称为准分子，这种分子也能产生激光。常采用的准分子有：Ar2*、Xe2*、XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*、XeO*、KrO*等。 离子---利用电离后的气体离子产生激光作用，主要有惰性气体离子和金属蒸气离子。离子激光器的典型代表是氩离子(Ar+)和氦-镉(He-Cd)离子激光器 第三页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 气体激光器的工作原理 电激励---气体放电 在高电压下，气体分子发生电离导电(叫做气体放电)，被电场加速的电子与气体原子(或分子、离子)碰撞，使后者激发到高能级，形成粒子数反转，这一过程称为放电激励。 气体放电可采用直流或交流的连续放电、射频放电(高频放电)、脉冲放电等形式。直流和交流放电又分为纵向放电和横向放电两种。 ? 除放电激励外，还可用电子枪产生的高速电子去激励气体，使之跃迁到高能级，这称为电子束激励。 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第四页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 氦-氖(He-Ne)激光器 He-Ne激光器可以分为内腔式、外腔式和半内腔式三种，如右图所示。 He-Ne激光器是典型的四能级系统。 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第五页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * He-Ne激光器 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第六页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 封离式CO2激光器结构示意图 二氧化碳激光器 下图是一种典型的结构示意图。构成CO2激光器谐振腔的两个反射镜放置在可供调节的腔片架上，最简单的方法是将反射镜直接贴在放电管的两端。 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第七页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 与产生激光有关的CO2分子能级图 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第八页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 分段石墨结构Ar+激光器示意图 Ar+离子激光器 Ar＋激光器一般由放电管、谐振腔、轴向磁场和回气管等几部分组成。如下图所示为石墨放电管的分段结构 。 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第九页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 4.2 气体激光器 4 激光器种类和特性 第十页，共四十页，2022年，8月28日 * 南师大光电技术江苏省重点实验室 * 气体激光器的输出特性 输出功率大 ---气体激光器容易实现工作物质的大体积均匀分布，且工作物质的流动性好，因此能获得很大功率输出。例如高功率电激励CO2激光器连续输出功率已达数万瓦以上 。 效率高 ---大部分的气体激光器既能连续工作又能脉冲工作。目前，CO2激光器的电光转换效率已达到25％，而 CO激光器在低温条件下可达到50％。 谱线范围宽 ---目前有数百种气体和蒸气可以产生激光，已经观测到的激光谱线近万余条，谱线覆盖范围从亚毫米波到真空紫外波段，甚至 X射线、射线波段。 光束质量优---工作物质均匀一致保证了气体激光束的优良光束质量，在光束的相干性、单色性方面优于固体