第单元电容式传感器演示文稿.pptVIP

在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构。在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δδ时, 电容器C1的间隙 δ1变为 δ0 - Δδ,电容器C2的间隙 δ2 变为 δ0 +Δδ , 则 在|Δδ/δ0 |1 时, 则按级数展开: 当前第30页\共有59页\编于星期六\17点 电容值总的变化量为 电容值相对变化量为 当前第31页\共有59页\编于星期六\17点 如果只考虑式中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差γ近似为 可见, 电容传感器做成差动式之后, 灵敏度提高一倍, 而且非线性误差大大降低了。 当前第32页\共有59页\编于星期六\17点 C0—传感器本身电容； Cp—引线电缆、测量电路及极板与外界形成的 总的寄生电容； Rg—极间等效漏电阻； γ—引线、极板和金属支架的电阻； L—引线和电容传感器的电感； 高频、低频激励电压作用下电容传感器的等效电路 3.3 电容式传感器的测量电路 当前第33页\共有59页\编于星期六\17点 3.3.1.调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 当前第34页\共有59页\编于星期六\17点 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正, 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频测量电路原理框图如图所示。图中调频振荡器的振荡频率为 式中: L——振荡回路的电感;  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C0±ΔC 其中, C1为振荡回路固有电容; C2为传感器引线分布电容; C0±ΔC为传感器的电容。 当前第35页\共有59页\编于星期六\17点 当被测信号为0时, ΔC =0, 则C =C1+C2+C0, 所以振荡器有一个固有频率f0,   当被测信号不为 0 时, ΔC≠0, 振荡器频率有相应变化, 此时频率为 当前第36页\共有59页\编于星期六\17点 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度, 可以测至0.01 μm级位移变化量。频率输出易于用数字仪器测量和与计算机通讯, 抗干扰能力强, 可以发送、接收以实现遥测遥控。 当前第37页\共有59页\编于星期六\17点 3.3.2 运算放大器式电路 运算放大器的放大倍数K非常大, 而且输入阻抗Zi很高。运算放大器的这一特点可以使其作为电容式传感器的比较理想的测量电路。 当前第38页\共有59页\编于星期六\17点  图示为运算放大器式电路原理图。Cx为电容式传感器, 是交流电源电压, 是输出信号电压, Σ是虚地点。 由运算放大器工作原理可得 当前第39页\共有59页\编于星期六\17点 如果传感器是一只平板电容, 则 ,代入上式, 有  式中“-”号表示输出电压 的相位与电源电压反相。 上式说明运算放大器的输出电压与极板间距离δ呈线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容 传感器的非线性问题。但要求Zi及K足够大。为保证仪器精度, 还要求电源电压 的幅值和固定电容C值稳定。 当前第40页\共有59页\编于星期六\17点 图示为二极管双T型交流电桥电路原理图。 e是高频电源, 它提供幅值为Ui 的对称方波, VD1、VD2为特性完全相同的两个二极管, R1 = R2 = R, C1、C2为传感器的两个差动电容。当传感器没有输入时, C1 = C2 。电路工作原理如下: 3.3.3 二极管双T型交流电桥 当前第41页\共有59页\编于星期六\17点 当前第42页\共有59页\编于星期六\17点 当e为正半周时, 二极管VD1导通、VD2截止, 于是电容C1充电; 在随后负半周出现时, 电容C1上的电荷通过电阻R1, 负载电阻RL放电, 流过RL的电流为I1 。 在负半周内, VD2导通、VD1 截止, 则电容C2充电; 在随后出现正半周时, C2通过电阻R2, 负载电阻RL放电, 流过RL的电流为I2 。 根据上面所给的条件,