Horiba 流量计中文说明书解析(1).pptxVIP

质量流量控制器简介 Explore the future 2005 HORIBA STEC,Co., Ltd. All rights reserved. 上海堀场贸易有限公司 HORIBAS TEC 什么是质量流量控制器 质量流量控制器主要是由传感器 、电路板和驱动阀三大部分组成。是 能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器 。主要使用在半导体工 业和平面显示器制造和太阳能电子方面。 质量流量： 质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量 ，工作时不 受外界的温度和压力的影响。 Explore the future 设定信号：0?5V 输出信号：0?5V ◎2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS CONTROL ELECTRONICS (P-I-D) +/- 15VDC 进气端 出气端 SIGNAL PROCESSING 电源： TEC MFC 的内部结构图 Explore the future 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS TEC 侧流管 阀驱动 七ン女部温度分布 根据传感器的结构，当没有气体流入时， 传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。 当有气体流过时，上流端的自加热电阻 产生的热量被带走，从而两端形成一定 的温度差，使传感器两边的温度曲线分 布不再平衡。 传感器的结构 热传感器 上△T Explore the future 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS TEC Gas Flow Gas F 传感器?侧流管 传感器在不同压力下的特征 必须使侧流管设计为层流结构，这样才能流 出相对稳定和精准的流量。 (実用新案第1416269号) Explore the future 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 差圧 mmH2O 侧流管在不同压力下的特征 差压 mmH2O HORIBAS TEC MFC 的阀结构 Explore the future 2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 压电陶瓷驱动器 HORIBAS TEC 连接端口 外壳构造 MFC的阀结构 陶瓷阀的工作效果图 压电元件 Explore the future 2005 HORIBA STEC,Co., Ltd. All rights reserved. 压电元件的伸长 移 动方向 HORIBAS TEC 雾点对实际流量的影响 200mV ÷5000mV(5V) =0.04(4%)→ 100SCCM×4%=4SCCM Explore the future 2005 HORIBA STEC,Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS TEC S CCM - 标准立方厘米每分钟 ∠SLM - 标准立方升每分钟 1000sccm =1slm SCCM 和SLM 是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为雾摄 氏度， 一个标准大气压的条件。 在美国，标准条件被广泛接受和认同。 .然而，在其它不同的国家通常使用的流量单位除了SCCM 和SLM 外还 有 CCM/LM (日本)-温度为25?C, 一个标准大气压 NCCM/NLM (日本)-温度为20?C, 一个标准大气压 CCM作流量单位和SCCM作流量单位的MFC之间的流量相差大约为 9.1%。 什么是SCCM /SLM及区别 Explore the future ◎2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS TEC 凶转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界的 压力和温度的影响而稍有不同。 凶转换因数是使用氮气进行转换，如果是用其它气体作为测量气体，那么测出的 气体流量值则会偏差很大。 什么是MFC的转换因数 量 流 要 需 真实流量 QA: 气体A 的流量 C.F.A:气体A 到N2 的转换因数 Qvz: N2的流量 Explore the future )2005 HORIBA STEC, Co., Ltd. All rights reserved. HORIBAS TEC SE