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表8-1 几种表面微区成分分析技术的性能对比 分析性能 电子探针 离子探针 俄歇谱仪 空间分辨率（ ?m ） 0.5~1 1~2 0.1 分析深度（ ?m ） 0.5~2 0.005 0.005 采样体积质量（g） 10-12 10-13 10-16 可检测质量极限（g） 10-16 10-19 10-18 可检测浓度极限（?10-6） 50~10000 0.01~100 10~100 可分析元素 Z?4（Z?11时灵敏度差） 全部（对He、Hg等灵敏度较差） Z?3 定量精度（C10%） ?1~5% 真空度要求（Pa） 1.33 ?10-3 1.33 ?10-6 1.33 ?10-8 对样品的损伤 对非导体损伤大，一般情况下无损伤 损伤严重，属消耗性分析，但可进行剥层 损伤少 定点分析时间（s） 100 0.05 1000 * 当前第30页\共有52页\编于星期六\7点 主要应用 作为微分析技术发展中新的一员，离子探针和二次离子质谱（SIMS）分析除具备微分析技术的共同特点外，还拥有许多独到的性能。大致看来，目前较能发挥离子探针二次离子质谱分析特点的，依次是深度分析、表面分析、痕量微量和微区微粒的全元素（氢）除外分析、显微离子图象分析。从应用的学科领域来看，除生物医学及同位素科学尚较薄弱外，在金属科学、半导体科学、微电子学、表面科学、材料科学、地球及空间科学、环境科学等都已得