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09 级材料物理实验讲义 等离子体技术与应用 微波氢等离子体发射光谱分析 实验背景 等离子体是一种由大量离化的粒子组成并呈现电中性的热力学体系。对等离子体性能的研究能够从纯科 学的角度为研究自然空间和大气现象提供重要的依据，也为涉及等离子体发展应用中遇到的技术问题提供解 答。等离子体的诊断可以分为接触式和非接触式，接触式诊断方法主要包括Langmuir 探针法、阻抗测量法等， 一般用于大范围均匀分布等离子体的诊断；非接触式诊断方法主要包括微波透射法、光谱法等，一般用于小 尺寸等离子体的诊断。 微波氢等离子体由于采用无极放电方式，在高质量光学金刚石膜、金刚石同质外延等方面有广泛的应用。 氢等离子体的原位在线检测对于研究等离子体中各基团的物理—化学过程、改进薄膜沉积工艺具有重要意义。 发射光谱诊断技术具有无干扰、灵敏度高等优点，其原理是基于电磁辐射与物质的相互作用，是研究等 离子体状态和性能较为理想的诊断方法，如利用氢原子发射光谱的相对强度测量等离子体中的电子参数，利 用氢原子发射光谱的展宽测量等离子体中的电场强度等。 在空间和实验室等离子体物理的研究中，氢等离子体Balmer 线系是重要的研究对象。在实验室条件下， Balmer 线系主要研究H 、H 和H 三条谱线，他们分别是主量子数n=3 、4 、5 向n=2 的跃迁，表1 为上述三 α β γ 条谱线的相关参数。 表1 Balmer 线系的常数 Balmer Wavelength Transition Weighing of Excitation -1 series (nm) Coefficient(μs ) upper level energies(eV) H (3→2) 656.28 44.10 18 12.0875 α H (4→2) 486.13 8.419 32 12.7485 β H (5→2) 434.05 2.530 50 13.0545 γ 本实验利用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于接近一个大气压下的微波辉光 氢等离子体，研究在可见光区范围内的氢等离子体发射光谱中氢原子的Balmer 线系的谱线以及谱线随实验条 件的变化。 一 实验目的 1. 理解微波氢等离子体的激发原理和原子发射光谱的形成过程。 2. 掌握微波等离子体及光栅光谱仪的工作原理与使用方法。 3. 掌握使用Origin 软件对数据作图的基本方法。 二 实验仪器及原材料 微波等离子体化学气相沉积装置一台、WDS-8A 多功能光栅光谱仪一台、光缆 1 根、计算机一台、高纯 氢气一瓶。 三 实验原理 1. 多功能光栅光谱仪 1.1 WDS-8A 多功能光栅光谱仪 图1 光栅光谱仪装置示意图 2011.10 09 级材料物理实验讲义 等离子体技术与应用 1.2 光栅光谱仪的工作原理 光栅光谱仪是指利用折射或衍射产生色散的一类光谱测量仪器。光栅光谱仪是光谱测量中最常用的仪器， 基本结构如图2 所示。它由入射狭缝S 、准直球面反射镜M 、光栅G、聚焦球面反射镜M 以及输出狭缝S 1 1 2 2 构成。 图2 光栅光谱仪内部基本机构示意图 衍射光栅是光栅光谱仪的核心色散器件。它是在一块平整的玻璃或金属材料表面（可以是平面或凹面） 刻画出一系列平