机器人行业人形机器人零部件力传感器，机器人高精度力控方案核心部件.docx

目录 多维力传感器设计涉及多学科交叉，技术壁垒高 3 力传感器可分为一维传感器和多维传感器 3 弹性体和应变片是力传感器的核心零部件 7 多维力传感器的技术壁垒更高，高精度、抗干扰能力强 12 力传感器市场空间巨大，新兴应用开拓市场 19 力传感器需求不断增长，以称重传感器需求为主 19 力传感器相比于电流环传感方案精度更高 21 人形机器人等新技术有望带来六维力传感器需求提升 23 竞争格局：国内产品更具性价比，替代潜力巨大 27 多维力传感器单价高，国内产品更具性价比 27 国内外主要力传感器供应商 28 相关上市标的 31 柯力传感：国内应变式力传感器龙头，多维传感器在研 31 中航电测：国内应变片龙头，自动化产线升级 31 汉宇集团：投资同川科技及海伯森，布局人形机器人 32 瀚川智能：投资坤维科技，完善传感器布局 33 风险提示 34 插图目录 35 表格目录 35 多维力传感器设计涉及多学科交叉，技术壁垒高 力传感器可分为一维传感器和多维传感器 传感器的分类 根据感力原件的不同，传感器主要分为三类：应变式力传感器、光学式传感器以及压电式力传感器。 传感元件 传感元件类型 原理及特点 代表企业 应变片式  OnRobot通过光纤、光栅反映形变，再转化成 OnRobot 通过光纤、光栅反映形变，再转化成力 光学式 ATI、宇立仪器、坤维科技、鑫精诚传感器、海伯森、神源生智能、Sintokogio、Bota Systems AG 、 SCHUNK 、 ME- Me?systeme GmbH、埃力智能 压电/电容式电容是通过极距的变化导致电压变化，压电则是通过形变改变电荷。 压电/电容式 Robotiq、Robotous、WACOH-TECH、Kistler 资料来源：高工机器人产业研究所（GGII）， 应变式力传感器，采用的是硅应变片或金属箔，本质是材料本身发生形变进而转化为阻值变化； 光学式传感器则是通过光栅反映形变，再转化成力； 压电式传感器是将被测物理量变化转换成压电材料因受机械力产生静电电荷或电压变化的传感器，可分为电容和压电两种，电容是通过极距的变化导致电压变化，压电则是通过形变改变电荷。 图1：传感器分类 资料来源：《电阻应变式力传感器》， 经过稳定性、刚度、动态特性、成本与信噪比五个维度的比较可知，硅应变 传感器和金属箔传感器之间，硅应变片在稳定性、信噪比以及动态特性方面要更优， 两者刚度上相差不多，但成本上金属箔要优于硅应变片；电容传感器和压电传感器 之间，电容传感器成本最优，其他几项弱于压电传感器；光学传感器在动态特性方 便明显具有优势。 图2：不同传感器性能对比 资料来源：《电阻应变式力传感器》， 应变力传感器：电阻应变式传感器的灵敏元件主要是应变片，他是一种用来测量物体应变的测试工具。大多数通用力传感器内部都有应变片。应变片作为电导体牢固地附着在基片上。当基底被拉伸时，应变片将会变长。反之被压缩时，应变片 将会缩短。结果是导致应变片电阻产生变化。这就是应变测量原理，通过应变电阻产生变换来确定应变大小。为了生产力传感器，除了应变片外还需要一个弹性体- 例如采用不锈钢等。应变片将牢固地黏贴在弹性体上，二者一起发生形变，因此应 变片将产生和弹性体一样的变形，这将导致电阻产生变化。惠斯通电桥输出信号将提供这些变形信息。这样就可以计算出作用在应变片上的力的大小。这就是力传感 器的工作原理。 图3：力传感器工作原理示意图 资料来源：HBK 官网， 力传感器是机械、电子、算法、计量融合的复杂交叉学科，技术壁垒较高。多维力传感器能够实现更精细的工作需求，在机械加工，如磨削，去毛刺，打磨和抛光中，让机器人来完成这些工作曾经是非常复杂的，需要根据空间体积进行大量的编程，而且也需要花费大量时间来进行纠错。但是集成了多维力觉传感器后，利用传感器的路径记录功能，操作员可以简单地抓住臂端装置并进行预期的移动。传感器记录操作员施加的力和方向，然后机器人就可以重复操作员的动作。这将极大地提高工作效率，同时将有助于保障操作工人的安全。 图4：多维力传感器的技术壁垒 资料来源：蓝点触控、 绘制 力传感器的生产工艺 力传感器的重要部件包含弹性体和应变片，弹性体制造质量直接影响到传感器的测试性能指标，因此，弹性体的制造是力传感器生产的重要环节。力传感器的生产流程主要包含弹性体加工及后处理工艺。 图5：力传感器生产流程示意图 资料来源：柯力传感招股说明书， 弹性体设计与制造：指弹性体钢杯的结构设计与机械加工，去应力热处理。此环节将确定弹性体膜片基本参数，基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一输出关系。弹性体建模与计算