表面预处理工艺对多元多层硬质薄膜性能的影响剖析.docxVIP

2008 年 10 月 10 日 开 题 报 告 表面预处理工艺对多元多层硬质 薄膜性能的影响 所属院系： 材料与能源学院 所学专业： 材料学 论文题目: 表面预处理工艺对多元多层 硬质薄膜性能的影响 研究生姓名： 胡 芳 指导教师： 代明江(教授级高工) 开题时间： 2008.12.09 一、文献综述 1.1 多层膜的概述 1.1.1 多层膜的构成和种类 多层膜(Multilayer films ，MLs) 是在单层薄膜基础上发展起来的[1] ，是指有两种或两种 以上成分