- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第八章 真空镀膜机设计
The Design of Vacuum Coating
Equipments;8.1真空设备设计原则;镀膜机常用技术指标;8.2真空镀膜机的分类
——按作业方式划分;真空镀膜机的构成;8.3真空室与机架
------- 1结构布置;8.3真空室与机架;8.3真空室与机架
-------3功能作用与要;8.3真空室与机架
------- 4构成与附;8.3真空室与机架
------- 4构成与附;8.3真空室与机架
------- 4构成与附;8.4工件架
-------1 功能作用与要;8.4工件架
------- 2 结构形式;8.4工件架
------- 2 结构形式;挂
夹
卡
粘;8.4工件架
------- 4 驱动机构;8.4工件架
------- 5挡板机构;8.4工件架
------- 6 设计要求;8.5靶的布置形式;8.6真空系统;8.7供电系统;8.8测量与控制系统;8.9水冷系统
-------1要求水冷的部位;散热功率(W)
水流量 (Kg/s)
比热c—J/(kg。K)
温度t—K;8.9水冷系统
------- 3 水流设计;8.9水冷系统
------- 4 元器件与构成;8.9水冷系统
------- 5 注意事项;8.10 气体充入与分配系统;8.11 其它辅助系统
文档评论(0)