扫描电镜在材料表面形貌观察及成分分析中应用.docxVIP

扫描电镜在材料表面形貌观察及成分分析中的应用 一、实验目的 了解扫描电镜的基本结构和工作原理，掌握扫描电镜的功能和用途； 了解能谱仪的基本结构、原理和用途； 了解扫描电镜对样品的要求以及如何制备样品。 二、实验原理 （一） 扫描电镜的工作原理和结构 扫描电镜的工作原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。在此过程中有 99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约 1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。如图 1 所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X 射线等。扫描电镜设备就是通过这些信号得到讯息，从而对样品进行分析的。 图 1 入射电子束轰击样品产生的信息示意图 1 / 7 从结构上看，扫描电镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、探测、信号处理、显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。 由图 2 我们可以看出，从灯丝发射出来的热电子，受 2-30KV 电压加速，经两个聚光镜和一个物镜聚焦后，形成一个具有一定能量，强度和斑点直径的入射电子束，在扫描线圈产生的磁场作用下，入射电子束