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一种晶圆框架平整度检测装置.pdfVIP

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  • 2023-09-07 发布于四川
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一种晶圆框架平整度检测装置.pdf

    本实用新型属于平整度检测技术领域，尤其为一种晶圆框架平整度检测装置，包括平整度检测仪主体和摄像组件，所述平整度检测仪主体和摄像组件之间通过线缆电性连接，所述摄像组件包括握柄和摄像头，所述握柄和摄像头之间连接有定位机构，定位机构包括连接架、活动槽、压板、压缩弹簧、手拧螺杆、橡胶缓冲垫和刻度板；通过定位机构连接的握柄和摄像头，摄像头表面固定的刻度板安装在连接架的内部，同时手拧螺杆的一端旋合嵌入到连接架的内部，且手拧螺杆通过轴承与压板转动连接，同时压板表面粘合的橡胶缓冲垫与刻度板接触，便于刻度板通过压

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210346618 U (45)授权公告日 2020.04.17 (21)申请号 20192

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