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本发明涉及一种铝基管状靶材及其制备方法。铝基管状靶材包括背管，背管的外表面设置有含铝金属过渡层，含铝金属过渡层上设置有铝基靶材层。含铝金属过渡层为铝青铜或镍铝合金。采用本申请的制备方法制备的铝基管状靶材，背管和铝基靶坯之间设置含铝金属过渡层，可有效解决背管与铝基靶坯之间由于热膨胀系数不匹配而引发的应力集中产生裂纹的问题，制备的铝基靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析，成品率高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115233169 A
(43)申请公布日 2022.10.25
(21)申请号 202210714121.7 C22C 27/06 (2006.01)
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