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本发明公开了一种直拉提升法制单晶硅棒循环水打磨装置,包括打磨冷却仓、伸缩夹臂、耐腐蚀海绵、高压打磨水管、转动轮、支撑壁、循环水补液管、循环水池、酸洗溶液补液管、酸洗溶液仓、保护带,其中伸缩夹臂在打磨冷却仓内壁与打磨冷却仓圆心连线所在直线上伸缩,多个伸缩夹臂夹紧单晶硅棒,伸缩夹臂至少有三个,伸缩夹臂夹紧单晶硅棒一端为圆弧面,多个伸缩夹臂同步伸缩。本发明的有益效果:高压水打磨防止硅棒出现损坏,打磨和酸洗安排在同一工序,采用循环水节能环保,单晶硅棒表面形状圆润,弱酸强酸弱酸高压水打磨的循环酸洗打磨,使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116690434 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310816507.3
(22)申请日 2023.07.05
(71)申请人 南京科达新控仪表有限公司
地址
原创力文档


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