原创力文档- 1
- 0
- 约1.1万字
- 约 15页
- 2023-09-07 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种MEMS光学麦克风，包括：外壳，该外壳包括内腔和将内腔与外部连通的声音端口；光源，该光源被配置为发射光束；MEMS模块，该MEMS模块包括：振膜，该振膜悬挂在声音端口上方；和第一反射涂层，该第一反射涂层涂布在振膜的面向光源的表面上并且被配置为反射光束；以及光检测单元，该光检测单元被配置为检测从第一反射涂层反射的光，包括：光检测器，该光检测器被配置为将光强度转换为光电流；和滤光器，该滤光器具有可变透射率，提升在光检测器上方。MEMS光学麦克风具有更宽的动态范围和更高的灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116709145 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310828424.6
(22)申请日 2023.07.06
(30)优先权数据
18/088,626 2022
文档评论（0）