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moems光学技术在三维激光雷达中的应用 0 moems应用科学研究 随着信息技术和光技术的快速发展，ss的另一个发展领域是结合光学，即集成了电子、微机械、光学等基础技术，开发了新型光设备，并成为光电工具系统（moems）。它能把各种MEMS结构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器件、光电检测器件等完整地集成在一起,形成一种全新的功能系统。MOEMS具有体积小、成本低、可批量生产、可精确驱动和控制等特点。 目前,较为成功的应用科学研究主要集中在两个方面:一是基于MOEMS的新型显示、投影设备,主要研究如何通过反射面的物理运动来进行光的空间调制,典型代表为数字微镜阵列芯片和光栅光阀;二是通信系统,主要研究通过微镜的物理运动来控制光路发生预期的改变,较成功的有光开关调制器、光滤波器及复用器等光通信器件。 MOEMS的出现开辟了一个全新的领域和产业。它具有许多传统传感器无法比拟的优点,对现有的科学技术和人类生活将产生革命性地影响。开展该领域的科学技术研究,可以带动大量新概念功能器件的开发。 1 mems技术及微反射镜阵列 在MOEMS诸多应用领域中,以微加工实现的微镜阵列可以用于诸多宏观光学领域,如扫描器、空间光调制器等。反射镜在MOEMS领域中是实现全集成光学的主要手段。它们可用于在芯片上对光路进行修正,用于光纤的输入和输出耦合。在成像系统中用于实现光束的转折;在光通信中用于路由