基于SU-厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究的中期报告.docxVIP

基于SU-厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究的中期报告 本中期报告基于SU-厚胶工艺，对SAR型微混合器的设计和实验研究进行了分析。 首先介绍了SAR型微混合器的原理和工作方式，其基本结构由两段长度相等的传输线组成，两段传输线在不同的方向上布置。通过调节两段传输线的长度和相位差，可以实现信号的混合和解混。采用这种结构可以获得较为均匀的频率响应和高的端口隔离度，适用于高性能射频系统的应用。 接着，本报告详细讨论SU-厚胶工艺的优势和实现方式。SU-厚胶工艺是一种利用聚苯乙烯（PS）薄膜作为介质的微电子加工技术，可实现高质量的微纳加工，特别适用于制作微波电路。相比其他工艺，SU-厚胶工艺具有成本低廉、加工周期短、器件质量好等优点。 接下来，本报告提出了SAR型微混合器的设计方案，并给出了其详细的工艺流程。整个设计过程基于第一类振荡器，采用可调电容器和变阻器调节传输线的长度和相位差。最终，利用COMSOL Multiphysics软件对设计方案进行仿真验证。 最后，本报告进行了实验研究，比较了设计方案的性能与理论性能的差异。实验结果表明，设计方案的实际性能接近于理论预测性能，证明了本设计方案的可行性和有效性。 综上所述，本中期报告提供了一个基于SU-厚胶工艺的SAR型微混合器的设计和实验研究方案，为高性能射频系统的应用提供了有力的支持。