传感器与检测技术实验.docVIP

实验一 压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和标定方法。 二、基本原理：扩散硅压阻式压力传感器的工作机理是半导体应变片的压阻效应，在半导体受力变形时会暂时改变晶体结构的对称性，因而改变了半导体的导电机理，使得它的电阻率发生变化，这种物理现象称之为半导体的压阻效应 。一般半导体应变采用N型单晶硅为传感器的弹性元件，在它上面直接蒸镀扩散出多个半导体电阻应变薄膜（扩散出敏感栅）组成电桥。在压力（压强）作用下弹性元件产生应力，半导体电阻应变薄膜的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，经电桥转换成电压输出，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。图3—1为压阻式压力传感器压力测量实验原理图。 图3—1 压阻式压力传感器压力测量实验原理 三、需用器件与单元：机头压力传感器；显示面板中的F/V表(或电压表)、±2V～±10V步进可调直流稳压电源；调理电路面板传感器输出单元中的压阻式压力传感器；调理电路单元中的差动放大器；铜三通引压胶管、手捏气泵、压力表。 四、实验步骤： 1、将机头上的压力传感器用铜三通引压胶管与压力表和手捏气泵连接好。如图10—2所示，并松开手捏气泵的单向阀。 2、在显示与调理电路面板上按图3—3接线（注意：压阻的电源端VS与输出端Vo不能接错）。将F／V表(或电压表)量程切换开关切到2V档；可调直流稳压电源切到4V档。检查接