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双路激光对称透射法在线测量平板玻璃厚度 0 平板玻璃厚度的测量 目前，国内外平板玻璃生产的主流方法主要采用浮法技术。其生产流程基本上是在高温下形成的。玻璃溶浆形成于锡溶液表面，经过回火定形工艺后进行切割。传统的玻璃厚度检测方法主要是通过测量仪器 (千分尺或游标卡尺) 对待测玻璃进行人工接触式计数测量。这些传统测量方法效率低、极易造成材料浪费, 加之一些特殊的制造环境 (如辐射、有害气体、高温等) 很难进行接触式的实际测量。随着激光、图像传感、计算机视觉等等技术的快速发展, 这些技术已成为非接触式光电检测的主要工具, 尤其被广泛应用于微光测量、实时监测、产品外部尺寸检测、表面质量评估等诸多领域。对平板玻璃厚度测量的研究, 国内外已有研究单位做了大量的工作, 其方法主要有激光二次折射反射法、激光多普勒法、象散法等。但这些方法的测量装置结构复杂、成本高、且在玻璃高温环境下不易长久跟踪测试等。针对这些问题文中提出激光双路对称透射法, 并设计整个测量装置系统, 对样品进行在线实时测量, 该测量系统操作简单、适用于高温环境非接触测量。 1 单光束测量系统设计 根据光的折射定律, 光束入射到平板玻璃上, 在平板玻璃的上表面和下表面均发生折射, 从下表面折射的光线与入射光线方向平行, 但光线位置平移了一段距离。如图1所示为激光测量原理图。设空气折射率为n0(n0≈1) , 玻璃折射率为n, 待测平板玻璃厚度为T, 光束平移量为△x。依据图1中几何关系可得 由光的折射定律 式中:θ、n为已知量, 可令H=sinθ-cosθ·tanθ, 则公式 (1) 变为△x=T·H。 从而玻璃的厚度为: 为了减小单光束测量误差, 笔者设计了如图2所示的对称双路测量光路测量装置, 分别由对称的线激光光源、对称的平面镜组CCD (Charge Couple Device) 传感器构成, 对称平面镜组为光路调置装置, 可将对称分布的光路调制为两束相互平行的线激光, CCD为光路接受装置。测量中光束偏移量通过CCD传感器进行测试和标定, 图中两对称光束经过平面镜组反射后, 成为一组相互平行的线光束, 其光束平移量相等, 分别为△x1、△x2, 则: 则玻璃厚度为: 镜头成像公式为: 式中:M为镜头放大倍率;△N为像素数;p为单元像素;γ为成像定标系数, 即线光束像素与位置变化的线性系数, 可由事先未放置玻璃时测定, 根据公式 (4) ~ (6) 可得厚度测量公式为: 2 图像显示和传感器 文中选择玻璃生产线上的透明平板玻璃为检测对象, 可在玻璃退火冷却端进行非接触在线实时测量。总体方案设计如图3所示, 该测试系统由光源, 光线处理装置 (包括滤波、准直、激光校正及稳定装置) 组成, 成像系统由在一定范围内成像的标准镜头组成。图像采集系统由CCD传感器、图像采集卡以及CCD驱动装置组成, 所采集的图像以数字图像形式保留下来, 经过计算机系统相关处理, 最后在显示器显示出来。 测量装置如4所示, 其中光源依据图5中CCD光谱响应曲线, 响应曲线敏感区域主要集中在可见光波段, 在线测量时玻璃热辐射为红外区域波段, 该波段不在CCD光谱响应区域范围内。采用半导体线激光器, 波长为632 nm, 功率为3 m W, 出口线宽L≤0.5 mm。镜头采用ZENITAR-F2/50 mm型号标准镜头, 镜头焦距为50 mm, 光学成像放大倍率为M=1:5。CCD传感器采用日本东芝TOSHIBA-TCD1501D型号, 像元数目为5 000像素, 有效像元尺寸35 mm, 单位像元间距p=7μm。采集卡使用KXUSB-SDK系列, 采用USB总线数据接口, 使接口芯片与主机USB接口相连, 图像以灰度图像GRAY8数字图像格式显示出来, 图像可以JPG、BMP等格式存储。 3 中心像素及中心邻域提取 这里提取光条纹图像中心像素是系统整个实验测量的关键环节, 系统装置中线激光产生的光条纹如图6 (a) 所示是个一字线型, 在线激光光束的截面上, 对应光强能量通常呈现的是强度对称的高斯分布, 图像条纹的灰度由光条纹中心向两侧逐步递减, 直到与背景灰度值融合。图6 (b) 为边界区域灰度图像, 右边黑色为背景部分情况, 中间灰色状态为边界过渡区域即高斯发散区域部分。图7为图6中对应的光带灰度直方统计图, 可以确定其边界阈值。 由于系统采集过程中产生各种随机噪声对图像采集可能或多或少带来不稳定的影响。有时会造成图像灰度分布不对称或者光条纹中心偏移等 (灰度中心理论认为两边邻域像素对称分布) 。针对图像特点中心像素提取有多种方法, 文中对灰度重心法进行改进, 首先可通过阈值法对边界进行粗定位, 选定背景与目标的过渡区域段的灰度值, 作为单束线光带图像的边界阈值, 以确定光带中心邻域范围。则线