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电容式传感器第一节 工作原理和类型 定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度。 一、原理式 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为式中:ε——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr, 其中ε0为真空介电常数, εr为极板间介质相对介电常数; S——两平行板所覆盖的面积;  ——两平行板之间的距离。 当被测参数变化使得式中的S, ε或 发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。  二、 类型变极距（间距）型电容传感器 当传感器的ε和S为常数, 初始极距为 时, 可知其初始电容量C0为若电容器极板间距 因被测量变化而变化 时，则有 原理非线性，实际中作成差动式来改变其非线性 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。2. 变面积型电容式传感器圆柱形电容器的电容量当两圆筒相对移动 时，电容变化量为具有良好线性3. 变介电常数型电容式传感器 变介质型电容传感器有较多的结构型式, 可以用来测量纸张#, 绝缘薄膜等的厚度, 也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。3. 变介电常数型电容式传感器根据各种介质的介电常数不同，检测液面高度同心圆柱状极板，插入液体深度h，两极板间构成电容式传感器（并联）此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。测量被测介质的插入深度（1）无介质插入（2）有介质插入 两段电容并联可见, 电容的变化与电介质εr2的移动量L呈线性关系。第二节 转换电路 电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小, 这样微小的电容量还不能直接为目前的显示仪表所显示, 也很难为记录仪所接受, 不便于传输。这就必须借助于测量电路检出这一微小电容增量, 并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。实现将微小的电容变化转换为电压或频率等信号电容式传感器等效电路一、调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时, 振荡器的振荡频率就发生变化。 虽然可将频率作为测量系统的输出量, 用以判断被测非电量的大小, 但此时系统是非线性的, 不易校正, 因此加入鉴频器, 将频率的变化转换为振幅的变化, 经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频测量电路原理框图如图 所示。调频振荡器的振荡频率为式中: L——振荡回路的电感;  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C0±ΔC。 其中, C1为振荡回路固有电容; C2为传感器引线分布电容; C0±ΔC为传感器的电容。 当被测信号为0时, ΔC =0, 则C =C1+C2+C0, 所以振荡器有一个固有频率f0, f0= 当被测信号不为 0 时, ΔC≠0, 振荡器频率有相应变化, 此时频率为 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度, 可以测至0.01 μm级位移变化量。频率输出易于用数字仪器测量和与计算机通讯, 抗干扰能力强, 可以发送、接收以实现遥测遥控。二、电桥电路 将电容传感器接入交流电桥作为电桥的一个臂(另一臂为固定电容)或两个相邻臂，另两个臂可以是电阻或电容或电感，也可以是变压器的两个二次线圈。其中另两个臂是紧耦合，电感臂的电桥具有较高的灵敏度和稳定性。图4-8电桥电路三、 二极管双T型交流电桥图a图b 这种双T形充放电网络是脉冲式测量电路的一种形式，其基本原理是利用电容的充放电。为便于分析，等效为图b)电路的工作原理当电源处于正半周时VDl导通，VD2，截止，电容Cl经VD1迅速充电至电压U，其等效电路如图C，电源经Rl向负载电阻RL供电，与此同时，电容C2经R2和RL放电，流经RL的电流 为这两电流之和。图C当电源为负半周时VDl截止，VD2导通，电路等效如图d此时C2很快被充电至电压U，流经负载电阻的电流 也为这时两电流之和。当C1＞C2(或C2＞C1)时则通过RL上的平均电流不为0，产生输出电压。图d对上式微分后，并设Rl＝R2=R，解联立方程式可得同理，对正半周可得式中输出电流对时间的平均值适当选择线路元件参数及电源频率f，使kl＞5，k2＞5，忽略指数项得于是输出电压的平均值 当电源频率f＝常数时，输出电压平均值与差动电容C