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电容式传感器上一页下一页返 回3.3.1 电容式传感器的工作原理1. 工作原理及类型2. 变极距型电容传感器3. 变面积型电容传感器4. 变介电常数型电容式传感器上一页下一页返 回Sδε1. 工作原理及类型 S ——极板相对覆盖面积；? δ ——极板间距离；? εr——相对介电常数；? ε0——真空介电常数，；? ε ——电容极板间介质的介电常数。 上一页下一页返 回变极距(δ）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) （h） 变介电常数(ε )型: （i）～(l) 上一页下一页返 回2. 变极距型电容传感器初始电容若极距缩小△d 非线性关系 若△d/d1时，则式（3.3.3）可简化为 最大位移应小于间距的1/10 差动式改善其非线性上一页下一页返 回3. 变面积型电容传感器当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时，其电容变化量化为△C与△x间呈线性关系 上一页下一页返 回电容式角位移传感器 当θ=0时 当θ≠0时传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系 上一页下一页返 回4. 变介电常数型电容式传感器初始电容 电容与液位的关系为： 例题电容式液位传感器 上一页下一页返 回当L=0时，传感器的初始电容 当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为电容变化量与电介质移动量L呈线性关系 上一页下一页返 回3.3.2 电容式传感器主要性能 1. 静态灵敏度 被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比2. 非线性上一页下一页返 回变极距型，其静态灵敏度为 将上式展开成泰勒级数得 差动结构也可提高灵敏度但δ过小易导致电容器击穿(空气的击穿电压为3kv/mm) 在极间加一层云母片(击穿电压103kv/mm)或塑料膜来改善电容器耐压性能 上一页下一页返 回平板式变面积型b△aab δ kg减小δ 、加云母片、增大b、采用差动结构可提高灵敏度上一页下一页返 回变极距型 将上式展开成泰勒级数得 δ 取值不能大，否则将降低灵敏度 上一页下一页返 回2. 非线性采用差动形式，并取两电容之差为输出量 差动式的非线性得到了很大的改善，灵敏度也提高了一倍 如果采用容抗 作为电容式传感器输出量被测量与δ 成线性关系 无需满足上一页下一页返 回3.3.3 传感器的特点和设计要点 1. 特 点2. 设计要点上一页下一页返 回1、特点 优点: 1. 温度稳定性好 （电容值与电极材料无关；本身发热极小 ） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应上一页下一页返 回缺 点： 1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 。 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量小，而引线电缆电容、电路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的电容等寄生电容却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度 。上一页下一页返 回2. 设计要点低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应 (1). 减小环境温度、湿度等变化所产生的影响，保证绝缘材料的绝缘性能 (2). 消除和减小边缘效应 (3).消除和减小寄生电容的影响，防止 和减少外界干扰 (4).尽可能采用差动式电容传感器 上一页下一页返 回例 某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的εr ＝2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及当用在储存灌内传感器的灵敏度(pF/L)解：2r22r1H3.3.4 电容式传感器等效电路C0rCPLRgL包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感；r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成；C0为传感器本身的电容Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容Rg是极间等效漏电阻极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗和介质损耗上一页下一页返 回CRg低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略等效电容C=C0+Cp，等效电阻Re≈Rg AB上一页下一页返 回reCL高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中C=C0+Cp，而re≈r BA上一页下一页返 回由于电容传感器电容