原创力文档- 4
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- 2023-09-13 发布于四川
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本发明提供了一种非球面光学零件的气缸应力抛光盘装置及抛光方法，抛光方法包括小磨头数控抛光，达到≈500nm的加工精度→磁流变面型精抛，提高到≈100nm的面型精度→面型误差测量分析→第一判断模块→气缸应力盘抛光→第二判断模块→完成加工。本发明的工艺合理，先通过小磨头数控抛光，快速去除非球面表面的损伤层；再通过数轮的磁流变面型精抛，提高面型精度；最后通过磁流变面型精抛与气缸应力抛光组成迭代加工，通过多轮迭代，最终实现高精度超光滑大偏离度非球面的抛光，解决了由于应力盘与非球面接触时存在一定的斜率，导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116728213 A
(43)申请公布日 2023.09.12
(21)申请号 202310773255.0
(22)申请日 2023.06.28
(71)申请人 上海现代先进超精密制造中心有限
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