基于SnO2CuO薄膜的声表面波H2S传感器研究的中期报告.docxVIP

基于SnO2CuO薄膜的声表面波H2S传感器研究的中期报告 本次中期报告对基于SnO2CuO薄膜的声表面波H2S传感器研究进行了进展和总结。 一、研究目的 本研究旨在开发一种基于SnO2CuO薄膜的声表面波H2S传感器，使用该传感器可以准确、快速地检测H2S气体浓度，用于工业生产过程中的燃烧控制、环保监测等领域。 二、研究进展 1.制备SnO2CuO薄膜 通过溶胶-凝胶法制备SnO2CuO薄膜，优化了制备工艺，得到了较好的薄膜质量。由SEM测试结果可以看出，薄膜表面平整，微观结构均匀。 2.制备声表面波传感器 使用光刻技术制备了声表面波传感器，将SnO2CuO薄膜作为传感器的感应层。由测试结果可以得知，该传感器对H2S气体具有较高的灵敏度。 3.测试分析 对制备的传感器进行了H2S气体暴露测试，测试结果表明，当H2S气体浓度为500ppm时，传感器的输出信号贡献率达到了90%以上，显示出良好的探测能力。 三、研究展望 1.继续优化传感器的灵敏度和响应速度。 2.探究SnO2CuO薄膜感应机理，进一步提高该材料在气体传感器中的应用。 3.优化传感器的结构和性能，拓展其在智能环保监测等领域的应用。