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一种晶圆加热设备.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种晶圆加热设备.pdf

    本发明提供了一种晶圆加热设备，包括加热主体和覆盖于所述加热主体顶面的承托板，所述加热主体与承托板围成加热腔室，所述加热腔室内注入传热介质，所述加热腔室连通换热导管，所述换热导管另一端穿过一换热装置后连通于所述加热腔室，所述换热装置内注入用于对流经换热导管内的传热介质降温的换热介质。本发明用以解决现有技术中晶圆加热器降温所需时间过长而导致当后续加热步骤需要降温时所存在的影响晶圆整个制程效率的问题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759343 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310929388.2 (22)申请日 2023.07.27 (71)申请人 新毅东（上海）科技有限公司 地址

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