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一种MOCVD用石墨盘烤盘炉.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种MOCVD用石墨盘烤盘炉.pdf

    本申请涉及金属有机物化学气相沉积的领域，尤其是涉及一种MOCVD用石墨盘烤盘炉，包括石墨盘本体、用于放置需清洁的石墨盘本体的炉体、设置在所述炉体内用于对所述炉体内部进行加热的加热器、设置在所述炉体底部的石墨盘旋转装置、用于向所述炉体内部充气及吹扫所述石墨盘本体盘面的进气管，以及用于排出所述炉体内部气体的排气管；其中，所述石墨盘本体放置在所述石墨盘旋转装置上，且所述石墨盘旋转装置可带动所述石墨盘转动，所述进气管以及所述排气管均设置有多根。本申请具有对大尺寸的石墨盘达到更好的清洁效果的效果。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116753722 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310731647.0 F27D 3/15 (2006.01) (22)申请日 2023.06.1

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