一种CP测试的安全防护系统.pdfVIP

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2023-09-16 发布于四川
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一种CP测试的安全防护系统.pdf

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本发明公开了一种CP测试的安全防护系统，属于CP测试技术领域，包括图像采集模块、图像检测模块、保护盖状态判断模块、晶圆位置判断模块。本发明通过设置的针卡保护盖固定柱，并在针卡保护盖区域图像中对其进行识别，获取其目标框的数量信息，然后根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息判断针卡保护盖是否被完全取下，检测准确度高，保证针卡保护盖能够被及时取下，避免了撞坏探针卡的重大事故发生；并且基于晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，实现对晶圆放置位置的准确检测，保证在进行C

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116755171 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202311047323.1 G06V 10/82 (2022.01)