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日盲紫外偏振光探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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日盲紫外偏振光探测器及其制备方法.pdf

    本公开提出了一种日盲紫外偏振光探测器，包括：衬底100、感光区111和两端电极120。其中，衬底100为绝缘衬底；感光区111为表面刻蚀有多条平行的纳米线112的氧化镓(001)晶面或(100)晶面，以通过氧化镓的各向异性和纳米线的尺寸限制效应提高日盲紫外偏振光探测器的各向异性光电流；两端电极120通过肖特基接触水平连接于感光区两端，以降低日盲紫外偏振光探测器的暗电流。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759474 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310940843.9 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人 中国科学院半导体

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