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一种晶圆缺陷自动检测设备.pdfVIP

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  • 2023-09-16 发布于四川
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一种晶圆缺陷自动检测设备.pdf

    本发明公开了一种晶圆缺陷自动检测设备，包括台体，所述台体的顶部外壁固定连接有第一固定架，所述第一固定架的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部和一侧分别设置有显示屏和控制面板，所述台体的顶部设置有晶圆盒，所述晶圆盒的内部设置有晶圆本体，所述台体的顶部外壁固定连接有安装架，所述安装架的顶部内壁固定连接有图像采集器。本发明中的图像采集器包括了多组激光发射器和一组LED灯组，实现了对灯源和激光的综合，既保证了对晶圆本体缺陷的全面检测，也保证了对特定种类的缺陷的检测能力，同时激光发射器数目为多组，且多组

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116754574 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310731625.4 (22)申请日 2023.06.20 (71)申请人 无锡芯启博科技有限公司 地址 2

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