一种电子束加工设备的磁聚焦装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212138024 U (45)授权公告日 2020.12.11 (21)申请号 202021333345.6 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人 贵阳文力电子有限公司 地址 550002 贵州省贵阳市南明区青云路 276号 (72)发明人 刘勇　 (74)专利代理机构 北京保识知识产权代理事务 所(普通合伙) 11874 代理人 郭楚媛 (51)Int.Cl. H05K 3/00 (2006.01) H01J 37/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)实用新型名称 一种电子束加工设备的磁聚焦装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种电子束加工设备的 磁聚焦装置,属于电子元器件加工技术领域，包 括真空箱、以及设置在真空箱内的磁聚焦本体、 电子枪和放置板，真空箱的上端设有开口，且开 口处密封连接有盖板，电子枪与盖板的下端固定 连接，磁聚焦本体与真空箱的左右两侧内壁固定 连接，放置板的下端固定连接有两个支撑杆，两 个支撑杆的下端均与真空箱的内壁固定连接，放 置板的上下两侧之间贯穿开设有条形通孔，条形 通孔内滑动连接有两个传动杆，两个传动杆的上 端均固定连接有固定板。本实用新型，能够在加 工设备内稳固的放置电路板，并且能够适用于放 U 置不同尺寸的电路板使用，防止电路板在加工过 4 程中发生偏移产生加工误差。 2 0 8 3 1 2 1 2 N C CN 212138024 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括真空箱(10)、以及设置在真空箱(10)内的 磁聚焦本体(21)、电子枪(20)和放置板(1)，其特征在于，所述真空箱(10)的上端设有开口， 且开口处密封连接有盖板，所述电子枪(20)与盖板的下端固定连接，所述磁聚焦本体(21) 与真空箱(10)的左右两侧内壁固定连接，所述放置板(1)的下端固定连接有两个支撑杆，两 个所述支撑杆的下端均与真空箱(10)的内壁固定连接，所述放置板(1)的上下两侧之间贯 穿开设有条形通孔，所述条形通孔内滑动连接有两个传动杆(4)，两个所述传动杆(4)的上 端均固定连接有固定板(5)，所述条形通孔内横向固定连接有矩形杆(3)，所述传动杆(4)的 杆壁通过矩形通孔与矩形杆(3)的杆壁滑动连接，所述真空箱(10)的下端固定连接有套管 (2)，所述套管(2)内连接有传动机构，所述传动机构与传动杆(4)连接。 2.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于，所述传动机 构包括滑动套接在套管(2)内的活塞(15)，所述活塞(15)的上端中心处固定连接有顶杆 (17)，所述顶杆(17)的上端通过滚动轴承横向转动连接有双向丝杆(18)，所述双向丝杆 (18)的杆壁上对称螺纹连接有两个螺纹套管(19)，两个所述螺纹套管(19)的管壁上均通过 转轴转动连接有拉杆(9)，所述真空箱(10)的下端内壁通过旋转轴转动连接有两个弧形杆 (7)，两个所述弧形杆(7)的杆壁分别与条形通孔内两个传动杆(4)的杆壁滑动连接，所述拉 杆(9)远离螺纹套管(19)的一端通过销钉与弧形杆(7)的杆壁转动连接。 3.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于，所述套管 (2)内固定连接有环形板(13)，所述环形板(13)内滑动套接有丝杆(12)，所述丝杆(12)的上 端穿过环形板(13)并与活塞(15)的下端固定连接，所述丝杆(12)的下端螺纹连接有半球形 结构的密封块(11)，所述丝杆(12)的杆壁上滑动套接有弹簧(14)，所述弹簧(14)的上端与 活