一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法。利用真空电子束焊机.pdfVIP

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2023-09-18 发布于北京
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一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法。利用真空电子束焊机.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110560873 A (43)申请公布日 2019.12.13 (21)申请号 201910678689.6 (22)申请日 2019.07.25 (71)申请人沈阳富创精密设备有限公司地址 110000 辽宁省沈阳市东陵区飞云路 18甲-1号 (72)发明人祝影　李生智　张维　韦宝权　张庆锋　谯永鹏　 (74)专利代理机构沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人俞鲁江 (51)Int.Cl. B23K 15/06(2006.01) B23K 15/04(2006.01) B23K 15/00(2006.01) B23P 15/00(2006.01) 权利要求书1页说明书2页附图1页 (54)发明名称一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法 (57)摘要本发明公开一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法。利用真空电子束焊机，水冷环主体及盖板为采用316L不锈钢，焊接过程为：脱脂清洗，组对装配，氩弧点焊，电子束预焊，电子束熔焊。焊接参数为：预焊：高压150KV，束流7-10mA，聚焦电流2500-2600mA，焊接速度1200mm/min，无函数波形。熔焊：高压150KV，束流20-25mA，聚焦电流 2500-2600mA，焊接速度800mm/min，函数波形为椭圆形，X＝0.4与焊接方向相同，Y＝0.8垂直于焊接方向，频率5000HZ。 A 3 7 8 0 6 5 0 1 1 N C CN 110560873 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法，其特征在，于包括以下步骤：第一步：不锈钢水冷环表面打磨，脱脂清洗，烘干；第二步：盖板与主体组对，TIG点焊；第三步：零件装入真空电子束焊接腔室；第四步：对不锈钢水冷环进行预焊，参数为：高压150KV，束流7-10mA，聚焦电流2500- 2600mA，焊接速度1200mm/min，无函数波形；第五步：对不锈钢水冷环进行熔焊，参数为：高压150KV，束流20-25mA，聚焦电流2500- 2600mA，焊接速度800mm/min，函数波形为椭圆形，X＝0.4mm与焊接方向相同，Y＝0.8mm垂直于焊接方向，频率5000HZ；第六步：冷却30min，充入氮气。 2.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法，其特征在于：水冷环主体及盖板为316L不锈钢，盖板厚度4mm。 3.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法，其特征在于：水冷环的焊接接头形式为对接。 4.根据权利要求3所述的一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法，其特征在于：焊接对接间隙小于0.2mm，搭接长度大于0.5mm。 2 2 CN 110560873 A 说　明　书 1/2页一种不锈钢水冷环真空电子束焊接方法技术领域 [0001] 本发明涉及IC装备制造中的真空电子束焊接领域，具体为一种不锈钢水冷