自动换靶装置的使用方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107267931 A (43)申请公布日 2017.10.20 (21)申请号 201710607841.2 (22)申请日 2017.07.24 (71)申请人 无锡南理工科技发展有限公司 地址 214192 江苏省无锡市锡山经济开发 区芙蓉中三路99号 (72)发明人 张荣生　 (74)专利代理机构 南京正联知识产权代理有限 公司 32243 代理人 胡定华 (51)Int.Cl. C23C 14/30(2006.01) C23C 14/56(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 自动换靶装置的使用方法 (57)摘要 本发明公开了一种自动换靶装置，应用于电 子束蒸发镀膜设备，包括以下步骤：(1)实时推进 靶材：当蒸镀工艺在进行时，推进机构根据第二 感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过 第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材 根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进；(2)自动 换靶材：由第三伺服电机带动靶材盘旋转，将靶 材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容 器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重 合，推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下 方托住靶材，然后卡门打开，推进平台则继续上 移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材 A 紧密结合，推进机构则停止；(3)向靶材盘内推入 1 替换靶材。 3 9 7 6 2 7 0 1 N C CN 107267931 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种自动换靶装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)实时推进靶材：当蒸镀工艺在进行时，推进机构根据第二感应器的数据由控制单元 控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗 量实时向上推进； (2)自动换靶材：当蒸镀时消耗完一个靶材后，与靶容器相对应结合的靶材盘上的第一 靶材腔则空了，第一靶材腔内的感应器则发出提示，待蒸镀工艺结束后，电子束枪关闭、卡 门关闭，由卡门托住靶容器内的靶材，推进平台则向下移动，当下移到靶材盘的下方后，由 第三伺服电机带动靶材盘旋转，将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正 下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合，推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方 托住靶材，然后卡门打开，推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶 材紧密结合，推进机构则停止； (3)向靶材盘内推入替换靶材：上推机构启动，真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门打 开，靶材盘的托台的打开，第一伺服电机带动上推平台上移，则将上推平台上的备用靶材上 移至靶材盘中没有靶材的第一靶材腔内；靶材盘的托台则关闭托住靶材，第一伺服电机则 带动上推平台向下移动至备用靶材腔内的原始位置，真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门 关闭。 2.根据权利要求1所述的自动换靶装置的使用方法，其特征在于，还包括步骤(4)备用 靶材腔添加靶材：由控制单元控制气阀打开将备用靶材腔内的通入空气，直至备用靶材腔 内的真空度与大气相同，再将备用靶材腔的腔门打开，将靶材放入备用靶材腔里的上推平 台上，且保证上推平台在靶材的中心位置，关闭腔门，再由控制单元控制机械泵、真空泵对 备用靶材腔抽真空，待备用靶材腔真空度达到镀膜腔室的真空度后，真空泵停止。 3.根据权利要求1所述的自动换靶装置的使用方法，其特征在于，所述备用靶材腔设置 在所述真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方，所述备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连 接，且中间设