一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室.pdfVIP

一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 106231713 A (43)申请公布日 2016.12.14 (21)申请号 201610822949.9 (22)申请日 2016.08.27 (71)申请人 宝鸡一众有色金属材料有限公司 地址 721013 陕西省宝鸡市高新区马营镇 永清工业园25号 (72)发明人 李明阳 韩伟东 刘军  (51)Int.Cl. H05B 7/00(2006.01) H01J 37/305(2006.01) H01J 3/02(2006.01) 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 (54)发明名称 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室 (57)摘要 本发明在于提供一种充氩气的电子束熔炼 炉用电子枪室,以解决稳定电子束偏转,实现精 准聚焦扫描的问题。本发明的思路是通过在电子 枪室安装氩气流量控制阀,向电子束枪室内充入 氩气,并适度控制充入氩气的流量,氩气在高压 电场的作用下电离产生正电荷,这样和逸出的电 子中和,从而达到稳定电子束偏转,实现精准聚 焦扫描。本发明解决了电子束发生漂移问题的同 时,熔炼有效功率也得以充分发挥,而且电子束 扫描精准、轨迹清晰,铸锭的质量稳定优良。此 外,本发明电子束聚焦精准扫描,熔炼有效功率 也得到了充分发挥,使得电子枪的使用寿命显著 A 延长。 3 1 7 1 3 2 6 0 1 N C CN 106231713 A 权 利 要 求 书 1/1页 1.一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室,包括圆柱体的电子束枪室(1),其特征在 于:沿电子束枪室(1)的内部圆周空间均布或非均布设置有至少4个聚焦线圈(2)、在电子束 枪室(1)的一侧设置有氩气流量控制阀(4)、在电子束枪室(1)的上部设置有电子束(5),其 中,控制所述氩气流量控制阀(4)能向电子束枪室(1)内充入氩气;所述电子束枪室(1)内充 入氩气的流量控制在2L/min~8L/min。 2.如权利要求1所述的一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室,其特征在于:所述聚焦 线圈(2)为4、6或8个均布对称设置。 3.如权利要求1或2所述的一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室,其特征在于:所述 充入氩气的流量控制在3.5、5、6、6.5或7.5L/min。 2 2 CN 106231713 A 说 明 书 1/2页 一种充氩气的电子束熔炼炉用电子枪室 技术领域 [0001] 本发明属于金属冶炼技术领域,涉及电子束熔炼炉,特别涉及一种充氩气的电子 束熔炼炉用电子枪室。 背景技术 [0002] 电子束熔炼炉(以下简称“电子束炉”)是在真空和高压直流电场状态下,通常是在 40kv的作用下,炽热的电子逸出形成电子束,以极高的速度打击在需融化的物料上,巨大的 动能转化为热能,将高熔点金属熔化,熔化温度高达3500摄氏度左右。目前,钽、铌、钨等难 熔金属的熔炼提纯都用电子束炉,低熔点金属杂质先挥发,从而去除杂质达到金属提纯的 目的。通常,电子束炉由枪室、炉室、和拉锭系统组成。枪室是电子束炉的高真空部位,也是 其核心部位,其电子枪的灯丝发射出来的电子束在高真空下通过线圈电流控制产生偏转, 达到所需的电子束形态。但是电子束是带负电荷,存在着在束流大的情况下,易发生漂移问 题,往

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