一种高纯铜旋转靶的端头焊接方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109807453 A (43)申请公布日 2019.05.28 (21)申请号 201910203658.5 (22)申请日 2019.03.18 (71)申请人 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 地址 523000 广东省东莞市厚街镇汀山村 汀山路121号 (72)发明人 伍温良　 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 代理人 林晓宏 (51)Int.Cl. B23K 15/06(2006.01) B23P 15/00(2006.01) 权利要求书4页 说明书18页 附图6页 (54)发明名称 一种高纯铜旋转靶的端头焊接方法 (57)摘要 本发明公开了一种高纯铜旋转靶的端头焊 接方法，本发明的端头焊接方法分三步对端头焊 接口或尾盖焊接口进行焊接，第一步为点焊接， 第二步为弧段焊接，第三步为圆周焊接。本发明 方法能防止高纯铜旋转靶材变形，铜合金端头与 高纯旋转靶材的同轴度高，有效降低内应力的产 生，铜合金端头与高纯旋转靶材的接口焊接效果 好，焊接接口气密性好。 A 3 5 4 7 0 8 9 0 1 N C CN 109807453 A 权　利　要　求　书 1/4页 1.一种高纯铜旋转靶的端头焊接方法，其特征在于，包括以下步骤： 1)、清洗步骤，对高纯铜旋转靶(02)中的焊接面和表面进行清洗，以去除高纯铜旋转靶 (02)的焊接面和表面中的氧化层和油污， 其中，高纯铜旋转靶(02)包括高纯铜靶材管(03)、铜合金端头(04)和铜合金尾盖(05)， 铜合金端头(04)和铜合金尾盖(05)分别安装于高纯铜靶材管(03)的两端，铜合金端头(04) 和铜合金尾盖(05)的一端分别设置有焊接面，高纯铜靶材管(03)的两端分别设置有焊接 面，铜合金端头(04)和铜合金尾盖(05)的焊接面分别与高纯铜靶材管(03)的焊接面抵贴安 装； 铜合金端头(04)的焊接面与高纯铜靶材管(03)的焊接面抵贴连接后形成的管外壁的 连接缝隙为端头焊接口，铜合金尾盖(05)的焊接面与高纯铜靶材管(03)的焊接面抵贴连接 后形成的管外壁连接缝隙为尾盖焊接口，固定于旋转固定部的端头焊接口或尾盖焊接口为 焊接端，未固定于旋转固定部的端头焊接口或尾盖焊接口为待焊接端； 2)、靶材固定步骤，通过使用夹具装置将铜合金端头(04)和铜合金尾盖(05)分别固定 于高纯铜靶材管(03)的两端，以形成高纯铜焊接靶材管，将高纯铜旋转靶(02)放置于真空 电子束焊接设备内，将铜合金端头(04)或铜合金尾盖(05)固定于真空电子束焊接设备的旋 转固定部， 3)、焊接准备步骤，通过启动真空电子束焊接设备抽真空，使真空电子束焊接设备内的 真空度达到10E-3Pa，将真空电子束焊接设备的聚焦设置在400-500毫安，灯丝设置在30- 50V，高压设置在60-80KV， 4)、焊接步骤，包括以下子步骤， 4.1)、点焊定位步骤，通过真空电子束焊接设备的电子束流分别对四个焊接点进行点 焊接，使焊接端的铜合金端头(04)或铜合金尾盖(05)初步焊接定位于高纯铜靶材管(03)， 四个焊接点分别平均分布在焊接端的端头焊接口或尾盖焊接口，第一焊接点(90)与第二焊 接点(91)相对，沿顺时针方向，在第一焊接点(90)与第二焊接点(91)之间设置有第四焊接 点(93)，在第二焊接点(91)与第一焊接点(90)之间设置有第三焊接点(92)，在焊接过程中 通过旋转固定部使高纯铜旋转靶(02)旋转，电子束流对高纯铜