一种速率可控的电子束蒸发源.pdfVIP

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217579045 U (45)授权公告日 2022.10.14 (21)申请号 202220901801.5 (22)申请日 2022.04.19 (73)专利权人 合肥瓦尔塔电子技术有限公司 地址 230000 安徽省合肥市中国（安徽）自 由贸易试验区合肥市高新区望江西路 800号合肥创新产业园A3楼1层创之汇 众创空间B175 (72)发明人 胡善玮　 (74)专利代理机构 合肥铭辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 34212 专利代理师 张名列 (51)Int.Cl. C23C 14/30 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种速率可控的电子束蒸发源 (57)摘要 本实用新型公开了一种速率可控的电子束 蒸发源，涉及镀膜加工领域，包括蒸发源台，蒸发 源台的底部固定连接有底座，蒸发源台的一侧固 定连接有电子枪，电子枪的一侧固定连接有电 线，电线的一端固定连接有电子加速极，蒸发源 台的顶端位于电子加速极的一侧活动连接有坩 埚，坩埚的一侧设有收集极与蒸发源台固定连 接，蒸发源台位于收集极的底部开设有水冷槽， 底座的顶端位于底座的四周固定连接有支撑柱 一，支撑柱一固定连接有放置板；该速率可控的 电子束蒸发源，通过对坩埚进行固定，防止工作 过程中坩埚偏移影响电子束的角度，更好的使膜 U 材中的原子或分子从表面汽化溢出后入射到基 5 片表面凝结成膜。 4 0 9 7 5 7 1 2 N C CN 217579045 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种速率可控的电子束蒸发源，包括蒸发源台（1），其特征在于，所述蒸发源台（1）的 底部固定连接有底座（2），所述蒸发源台（1）的一侧固定连接有电子枪（3），所述电子枪（3） 的一侧固定连接有电线，所述电线的一端固定连接有电子加速极（4），所述蒸发源台（1）的 顶端位于电子加速极（4）的一侧活动连接有坩埚（5），所述坩埚（5）的一侧活动连接有收集 极（6），且收集极（6）与蒸发源台（1）固定连接，所述蒸发源台（1）位于收集极（6）的一侧底部 开设有水冷槽（7），所述底座（2）的顶端位于底座（2）的四周固定连接有支撑柱一（8），所述 支撑柱一（8）的顶部固定连接有放置板（9）。 2.根据权利要求1所述的一种速率可控的电子束蒸发源，其特征在于，所述蒸发源台 二（11），所述支撑柱二（11）的表面转动连 （1）的顶端位于坩埚（5）的一侧固定连接有支撑柱 接有转盘（13），所述转盘（13）的一端固定连接有挡板（12）。 3.根据权利要求1所述的一种速率可控的电子束蒸发源，其特征在于，所述放置板（9） 的中部开设有沉孔，所述沉孔的内部滑动连接有基片（10），所述基片（10）为凸型结构。 4.根据权利要求1所述的一种速率可控的电子束蒸发源，其特征在于，所述坩埚（5）的 表面开设有侧边槽（17），所述侧边槽（17）的内部设有橡胶防滑层。 5.根据权利要求4所述的一种速率可控的电子束蒸发源，其特征在于，所述侧边槽（17） 的两侧抵接有夹板（16），所述夹板（16）的表面设有橡胶防滑层。 6.根据权利要求5所述的一种速率可控的电子束蒸发源，其特征在于，所述夹板（16）的 一侧固定连接有伸缩杆（15），所述伸缩杆（15）的一端固定连接有推杆电机（14），所述推杆 电机（14）固定于蒸发源台（1）中。 2