一种全自动熔料设备.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 211420295 U (45)授权公告日 2020.09.04 (21)申请号 202020221066.4 (22)申请日 2020.02.27 (73)专利权人 成都国泰真空设备有限公司 地址 611130 四川省成都市温江区成都海 峡两岸科技产业开发园科林西路618 号 (72)发明人 王伟　卢成　陈洪超　 (74)专利代理机构 成都其高专利代理事务所 (特殊普通合伙) 51244 代理人 廖曾 (51)Int.Cl. C23C 14/30(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)实用新型名称 一种全自动熔料设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种全自动熔料设备，包 括：壳体、坩埚盘、电子枪和步进电机。通过在壳 体开设腔室，将坩埚盘设置于腔室内，坩埚盘的 一侧设置有电子枪，步进电机的转轴从腔室的底 壁伸入腔室内，并与坩埚盘固定。在坩埚盘内加 入足量的熔料产品时，步进电机通过转轴控制坩 埚盘的转动进而使得电子枪对坩埚盘内的熔料 产品进行轰击，并将其熔化。如此，无需频繁开启 腔室对熔料产品进行更换，进而能够提高熔料效 率并缩短熔料时长，同时能够避免对熔料产品造 成污染。 U 5 9 2 0 2 4 1 1 2 N C CN 211420295 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种全自动熔料设备，其特征在于，包括：壳体（1）、坩埚盘（2）、电子枪（3）和步进电 机； 所述壳体（1）内开设有腔室（11）； 所述坩埚盘（2）设置于所述腔室（11）内的底壁处； 所述电子枪（3）设置于所述腔室（11）内并位于所述坩埚盘（2）的一侧，所述电子枪（3） 朝向所述坩埚盘（2）； 所述步进电机设置于所述壳体（1）内并位于所述腔室（11）外，所述步进电机的转轴从 所述腔室（11）的底壁伸入所述腔室（11）内，并与所述坩埚盘（2）固定。 2.根据权利要求1所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述全自动熔料设备还包 括：真空排气件（4）和抽气管（5）； 所述真空排气件（4）设置于所述壳体（1）内并靠近所述腔室（11）； 所述抽气管（5）的一端与所述腔室（11）连通，所述抽气管（5）的另一端与所述真空排气 件（4）连通。 3.根据权利要求2所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述抽气管（5）的一端从 所述腔室（11）的底部或侧壁伸入所述腔室（11）内。 4.根据权利要求2所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述抽气管（5）上设置有 阀门（51）。 5.根据权利要求2所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述真空排气件（4）的一 侧设置有排气口。 6.根据权利要求1所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述坩埚盘（2）远离所述 底壁的一面环绕设置有多个坩埚（21）。 7.根据权利要求6所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述坩埚盘（2）内的坩埚 （21）等间距分布。 8.根据权利要求1所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述电子枪（3）的开口朝 向所述坩埚盘（2）远离所述底壁的一面。 9.根据权利要求1所述的一种全自动熔料设备，其特征在于，所述转轴的外径与所述坩 埚盘（2）靠近所述底壁的一面开设的连接孔的内径相同； 所述转轴套设于所述连接孔以实现与所述坩埚盘（2）的可拆卸式连接。 10