感应耦合等离子体喷涂工作参数对涂层性能影响的实验研究.pdfVIP

2022 年 6 月 电 工 技 术 学 报 Vol.37 No. 11 第 37 卷第 11 期 TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY Jun. 2022 DOI:10.19595/ki.1000-6753.tces.210607 感应耦合等离子体喷涂工作参数 对涂层性能影响的实验研究 1,2 1 3 2 2 詹志华 王春华 周秋娇 刘成周 赵 鹏 （1. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院 合肥 230601 2. 中国科学院合肥物质研究院等离子体所 合肥 230031 3. 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 440305 ） 摘要 感应耦合等离子体（ICP ）由于无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净，在制备高纯度陶 瓷材料涂层上具有明显的技术优势。该文利用自主研制的感应耦合等离子体喷涂设备，开展碳化 硼涂层制备的实验研究。并利用发射光谱仪和高速相机，对放电气体中加入氢气后的等离子体特 性进行诊断。通过在等离子体放电气体中加入不同比例的氢气，研究等离子体工作参数对涂层性 能的影响。采用扫描电子显微镜（SEM ）、X 射线衍射（XRD ）和X 射线荧光（XRF ）分析了涂层 的微观结构、物相和成分情况。结果表明，在放电气体中加入氢气会导致等离子体的宏观气体温 度升高，从而提高喷涂粉末的表面熔融率；在放电气体中加入0.7L/min 氢气时，制备的涂层结合 强度最大，而且等离子体制备过程不会改变碳化硼的晶体结构。通过对比研究，得到最优化的制 备参数，为该自主技术的工艺参数摸索提供重要的实验依据。 关键词：感应耦合等离子体 氢气 放电气体 碳化硼涂层 中图分类号：O539 Experimental Study on the Influence of Inductively Coupled Plasma Operating Parameters on Coating Quality Zhan Zhihua 1,2 Wang Chunhua 1 Zhou Qiujiao3 Liu Chengzhou2 Zhao Peng2 （1. Faculty of Physics Hefei University of Technology Hefei 230601 China 2. Institute of Plasma Physics Hefei Institutes of Physical Science Chinese Academy of Sciences Hefei 230031 China 3. Shenzhen Institute of Advanced Technology Chinese Academy of Sciences Shenzhen 440305 China ） Abstract Inductively coupled plasma (ICP) has obvious technical advantages in the preparation of high purity ceramic coatings because of the absence of electrode ablation pollution and the purity of plasma environment. In this paper, the experimental study on the preparation of boron carbide coating was carried out with t