一种粒子束发射角的测量装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110686817 A (43)申请公布日 2020.01.14 (21)申请号 201911048797.1 (22)申请日 2019.10.31 (71)申请人 电子科技大学 地址 611731 四川省成都市高新区（西区） 西源大道2006号 (72)发明人 李海龙　邹同琨　王茂琰　殷勇　 王彬　蒙林　张平　袁学松　 陆欢欢　 (74)专利代理机构 成都正华专利代理事务所 (普通合伙) 51229 代理人 陈选中 (51)Int.Cl. G01L 5/00(2006.01) G01T 5/00(2006.01) H01J 37/244(2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种粒子束发射角的测量装置 (57)摘要 本发明提供了一种粒子束发射角的测量装 置，包括粒子加速器、绝缘垫、控制开关、压力传 感阵列、阵列绝缘板、数据收集器、数据处理器和 数据同步显示器，通过高灵敏度的压力传感器来 测量由电子枪产生的中性粒子束的发射角。本发 明测量的是粒子束的力学特性，不仅仅局限于中 性粒子束，其他粒子束也适用，应用的范围更广。 A 7 1 8 6 8 6 0 1 1 N C CN 110686817 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种粒子束发射角的测量装置，其特征在于，包括粒子加速器(1)、绝缘垫(2)、控制 开关(3)、压力传感阵列(4)、阵列绝缘板(5)、数据收集器(6)、数据处理器(7)和数据同步显 示器(8)，其中： 所述粒子加速器(1)与所述压力传感阵列(4)连接； 所述压力传感阵列(4)与所述数据收集器(6)连接； 所述数据收集器(6)与所述数据处理器(7)连接； 所述数据处理器(7)与所述数据同步显示器(8)连接； 所述压力传感阵列(4)分布于所述阵列绝缘板(5)上； 所述绝缘垫(2)位于所述压力传感阵列(4)下； 所述控制开关(3)分别位于所述阵列绝缘板(5)的前壁和后盖上，并与所述压力传感阵 列(4)连接。 2.根据权利要求1所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述压力传感阵列 (4)中各压力传感器均为压阻式压力传感器，相邻压力传感器之间有一间隙并相互咬合分 布于所述阵列绝缘板(5)上，且任意两个压力传感器之间电绝缘。 3.根据权利要求2所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，每个所述压力传感器 内设置有电阻R、电阻R 、电阻R 、电阻R 以及弹性平行梁(13)，其中： 1 2 3 4 所述电阻R 和电阻R 分别粘贴于所述弹性平行梁(13)的上表面； 1 3 所述电阻R 和电阻R 分别粘贴于所述弹性平行梁(13)的下表面。 2 4 4.根据权利要求3所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，每个所述压力传感器 包括由引线(9)、敏感栅(10)、基底(11)和覆盖层(12)构成的应变片，且所述应变片与外部 测量电路连接，其中： 所述基底(11)与所述弹性平衡梁(13)连接； 所述引线(9)与所述敏感栅(10)连接； 所述敏感栅(10)通过黏合剂与所述基底(11)连接； 所述覆盖层(12)覆盖于所述引线(9)与