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本实用新型提供一种超声波洗净装置及超声波洗净系统，其可洗净玻璃基板等半导体基板及可挠性薄膜等大型被洗净物，具备线形冲洗型及号角型的超声波洗净装置的功能，可省液化大幅减低使用的洗净液。该装置具备：筐体，具有底面，该底面与相对向设置的被洗净物形成倾斜面，在内部下面设有超声波振动子；洗净液供应装置，作为将洗净液供应给筐体底面的液膜形成手段；及流速加速装置，将来自作为液膜形成手段的洗净液供应装置的洗净液流速加速，作为喷出洗净液的流速加速部；筐体由本体构成，该本体具有上板、安装于上板下部的凸出部、从凸出部
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210497445 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20189
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