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- 2023-09-22 发布于四川
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本申请公开了一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具、冷却机构和传送机构，冷却机构包括机箱和吹风组件，吹风组件设于机箱内，载具经由传送机构送入机箱，吹风组件向进入机箱的载具吹风，以冷却载具内的硅片。本申请通过传送机构主动将载有硅片载具的送入冷却机构的机箱，在机箱中设有吹风组件，由吹风组件对硅片吹风进行冷却，冷却后，又由传送机构主动将载具转移出来，从而实现高效、自动化的冷却。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210489584 U
(45)授权公告日
2020.05.08
(21)申请号 20192
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