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- 2023-09-24 发布于四川
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本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置，尤其是一种光轴导向的联动十字滑台。本实用新型采用的技术方案是：一种光轴导向的两轴联动十字滑台，包括X轴组件和Y轴组件，X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴导轨座固定连接，X轴组件包括X轴光轴固定座、X轴光轴、X轴气浮直线轴承、X轴位置读数传感器、X轴光栅尺、X轴直线电机初级、X轴直线电机次级、X轴导轨座、X轴限位开关传感器，Y轴组件包括Y轴光轴固定座、Y轴光轴、Y轴气浮直线轴承、Y轴位置读数传感器、Y轴光栅尺、Y轴直线电机初级、Y轴缓冲器、Y轴直线电机次级、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210499240 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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