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硅麦克风.pdfVIP

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  • 2023-09-30 发布于四川
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硅麦克风.pdf

    本实用新型提供一种硅麦克风，其包括外壳，所述外壳上具有一进音孔；基板，与所述外壳形成容纳腔，所述进音孔与所述容纳腔连通，所述基板的一表面具有一凹腔，所述凹腔具有开口；声学组件，位于所述容纳腔内，且设置在所述基板的表面，所述声学组件包括MEMS传感器，所述MEMS传感器覆盖所述开口，所述凹腔作为所述MEMS传感器的扩展后室，所述进音孔与所述MEMS传感器之间的区域作为所述MEMS传感器的前室。本实用新型优点是，在基板上形成凹腔，扩大了MEMS传感器的后室的容积，即后室的空气容积增大，自进音孔进入的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210579221 U (45)授权公告日 2020.05.19 (21)申请号 20192

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