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机器人力传感器行业专题报告：机器人高精度力控方案核心部件 1?多维力传感器设计涉及多学科交叉，技术壁垒高 1.1 力传感器可分为一维传感器和多维传感器 1.1.1 传感器的分类 根据感力原件的不同，传感器主要分为三类：应变式力传感器、光学式传感器 以及压电式力传感器。 应变式力传感器，采用的是硅应变片或金属箔，本质是材料本身发生形变进而 转化为阻值变化；光学式传感器则是通过光栅反映形变，再转化成力；压电式传感器是将被测物理量变化转换成压电材料因受机械力产生静电电荷 或电压变化的传感器，可分为电容和压电两种，电容是通过极距的变化导致电压变 化，压电则是通过形变改变电荷。 经过稳定性、刚度、动态特性、成本与信噪比五个维度的比较可知，硅应变 传感器和金属箔传感器之间，硅应变片在稳定性、信噪比以及动态特性方面要更优， 两者刚度上相差不多，但成本上金属箔要优于硅应变片；电容传感器和压电传感器 之间，电容传感器成本最优，其他几项弱于压电传感器；光学传感器在动态特性方 便明显具有优势。 应变力传感器：电阻应变式传感器的灵敏元件主要是应变片，他是一种用来测 量物体应变的测试工具。大多数通用力传感器内部都有应变片。应变片作为电导体 牢固地附着在基片上。当基底被拉伸时，应变片将会变长。反之被压缩时，应变片 将会缩短。结果是导致应变片电阻产生变化。这就是应变测量原理，通过应变电阻 产生变换来确定应变大小。为了生产力传感器，除了应变片外还需要一个弹性体例如采用不锈钢等。应变片将牢固地黏贴在弹性体上，二者一起发生形变，因此应 变片将产生和弹性体一样的变形，这将导致电阻产生变化。惠斯通电桥输出信号将 提供这些变形信息。这样就可以计算出作用在应变片上的力的大小。这就是力传感 器的工作原理。 力传感器是机械、电子、算法、计量融合的复杂交叉学科，技术壁垒较高。多维力传感器能够实现更精细的工作需求，在机械加工，如磨削，去毛刺，打磨和 抛光中，让机器人来完成这些工作曾经是非常复杂的，需要根据空间体积进行大量 的编程，而且也需要花费大量时间来进行纠错。但是集成了多维力觉传感器后，利 用传感器的路径记录功能，操作员可以简单地抓住臂端装置并进行预期的移动。传 感器记录操作员施加的力和方向，然后机器人就可以重复操作员的动作。这将极大 地提高工作效率，同时将有助于保障操作工人的安全。 1.1.2 力传感器的生产工艺 力传感器的重要部件包含弹性体和应变片，弹性体制造质量直接影响到传感 器的测试性能指标，因此，弹性体的制造是力传感器生产的重要环节。力传感器的 生产流程主要包含弹性体加工及后处理工艺。 弹性体设计与制造：指弹性体钢杯的结构设计与机械加工，去应力热处理。此环节将确定弹性体膜片基本参数，基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一 输出关系。弹性体建模与计算过程非常重要，将在下一节重点阐述。研磨与抛光：对合格的弹性体钢杯进行研磨、抛光，使表面达到光洁度要求， 然后再作进一步的减薄处理。打磨、划线：打掉弹性体上加工产生纹路及电镀层，活化金属表面，改善贴片 区表面的微观凸凹不平。划线目的为对应变计的粘贴位置进行定位，作为贴片时的 基准线。贴片：将敏感元件粘贴在弹性元件上，通过金属机械变形改变阻值，获得电信 号的改变（△R→△U）从而得到一个应变量。 固化、老化：将贴片后的弹性体放入一定的温度环境中，将贴片胶烘干，使应 变计与弹性体紧密粘合。老化是通过人为升温降温来消除应变计、胶水的残余应力， 以达稳定的目的。组桥走线：连接敏感元件（应变计），组成惠斯通电桥，将电信号有效地输入 输出。零点补偿、零点温度补偿：平衡桥臂电阻温度系数，使其输出满足特定要求。焊线：通过导线连接，介入外部的输入、输出。初测：测出传感器满量程的灵敏度，并进行补偿达到一个统一的标准值，以满 足多个产品互换灵敏度的一致性及便于组秤使用时角度调整。封胶、焊封：通过传感器贴片孔、补偿孔的密封，隔离外界，形成独立的内部 气候环境。重测：检测产品各项特性或指示是否符合或满足国际的要求或企业的内部控 制指标（非线性、重复误差、滞后误差、蠕变、灵敏度、零点等）。在应变式传感器工作过程中，一般由弹性体首先把被测定的重量变换成易于 转换成电量的应变量，然后配合应变计及测量电路，把应变量转换成电量，即把输入的重量转换成为输出的电量，所以弹性体在称重传感器中起着重要的作用，其制 造质量好坏直接影响到传感器的测试性能指标。 弹性体在加工中会产出各种加工应力，其加工应力的积蓄与大小会影响到传 感器的测试性能指标。因此在加工中应注意采用少应力加工工艺方法，尽量避免加 工应力积蓄或减少加工应力。在贴片、组桥、补偿、调试、封胶这几个环节上要控制环境温度、湿度、洁净 度和流程节拍。可靠性、稳定性是本产品最重要的性能，一个极小的缺陷就可能导 致