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哈尔滨德强商务学院 实 验 报 告 课程名称： 自动检测技术及应用 系 别： 计算机与信息工程系 专 业： 应用电子技术（专） 班 级： 10-1班 学 号： 2010520292 学生姓名： 翟宏刚 2011年 12月 实验室名称： 工业工程专业实验室 实验机器号： 实验分组： 7 实验时间： 2011年9月20日 指导教师签字： 姚健 成绩： 实验项目一：扩散硅压阻式力传感器的压力测试实验 一、实验目的和要求 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的用原理与方法。 在具有压力效应的半导体材料上用扩散或离子注，入法摩托罗拉公司设计X形硅压力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表面形成四个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，支撑扩散硅压阻式压力传感器。 扩散硅压力传感器的工作原理：内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直电流方向将会产生电场变化E=△Ρ?I，该电场的变化因其电位变化引起电位，测压力引起的输出电压U0. U0=d ?E=d ??Δp ?i 式中d为元件两端距离 二. 实验接线如图所示，mpx10有4个引出脚，1脚接地，2脚为U0+,3脚接+5V电源，四角U0-；当P1〉P2时，输出为正；P1〈P2时，输出为负， 三、主要仪器设备 压力传感器模块，直流电压表，G10电源挂箱。 四、实验内容、步骤及操作方法 1，接入+5V，±15V直流稳压源，模块输出端V02接直流电压表，选择20V档。 2，调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV当显示为零，取下短路导线。 3，气势1,2的两个活塞退回到刻度“17”的小孔后，使两个气室的压力相对大气压均为0，气压计值在“零” 4，保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力到0.01 Mpa每隔0.005 Mpa记下模块输出U02的电压。直到P1的压力达到0.095 Mpa，并将实验数据填入表1-1 5，保持正压力输入Ｐ１压力０.０９５Mpa不变，曾大负压力输入Ｐ２的压力，从０．０１Mpa每隔0.005ＭＰａ记下模块输出Ｕ０２的电压值。直到ｐ２的电压力达到０.０９５Ｍｐａ，并将实验数据填入表１－２. 6，保持正压力输入Ｐ2压力０.０９５Mpa不变，减小正压力输入Ｐ２的压力，每隔0.005 Mpa记下模块输出Ｕ０２的电压值。直到P1的压力为0.005Mpa,并将实验数据填入表1-3 7，保持正压力输入Ｐ,1压力０Mpa不变，减小正压力输入Ｐ２的压力，每隔0.005 Mpa记下模块输出Ｕ０２的电压值。直到P2的压力为0.005Mpa,并将实验数据填入表1-4. 8，实验结束后，关闭实验台电源，整理好实验设备。 五、实验数据记录和处理 P(KP) 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 85 90 95 U02(V) 1.21 1.50 1.76 2.29 2.49 3.05 3.23 3.65 3.72 4.16 4.16 4.72 5.15 5.48 12.48 5.63 5.82 6.09 P(KP) 85 80 75 70 65 60 55 50 45 40 35 30 25 20 15 10 5 0 U02(V) 5.55 5.44 5.09 4.93 4.52 4.42 3.93 3.60 3.18 3.26 2.94 2.60 2.25 1.82 1.49 1.04 0.25 0 P(KP) -5 -10 -15 -20 -25 -30 -35 -40 -45 -50 -55 -60 -65 -70 -75 -80 -85 -90 U02(V) 0.50 0.90 -1.29 -1.61 -1.88 -2.91 -2.49 -12.75 -2.98 -3.19 -3.43 -3.63 -3.83 -4.03 -4.20 -4.30 -4.52 -5.9 P(KP) -10 -15 -20 -25 -30 -35 -40 -45 -50 -55 -60 -65 -70 -75 -80 -85 -90 U02(V) -4.85 -4.51 -4.31 -4.16 -4.16 -4.35 -3.9 -3.76 -3.27 -2.90 -2.86 -2.40 -2.07 -1.75 -1.45 -1.10 -0.75 六、实验结果与分析 通过以上数据的分析明白了，压电式传感器是利用压电材料本身固有