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本实用新型提供一种钢带镀膜系统,包括真空镀膜工艺室、导轨机构、以及靶材进出小车;导轨机构设置在真空镀膜工艺室的前方,并与真空镀膜工艺室呈垂直设置,靶材进出小车滑动安装于导轨机构上。靶材进出小车包括车身以及靶材安装机构;车身设有靶材固定部,靶材固定部垂直于车身设置,靶材安装机构安装于靶材固定部。靶材安装机构包括电机、连接法兰盘、以及靶材安装柱;电机安装于靶材固定部,连接法兰盘安装于电机的输出轴,靶材安装柱与连接法兰盘连接,且靶材安装柱开设有固定孔。本实用新型的钢带镀膜系统能够有效节省人力物力,操作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210620928 U
(45)授权公告日
2020.05.26
(21)申请号 20192
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