微悬臂梁弯曲法测量3C-SiC薄膜断裂强度_路远.pdfVIP

15 2 Vol． 15 No． 2 第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 2017 3 Nanotechnology and Precision Engineering Mar． 2017 年 月 DOI 10. 13494 /j． npe． ， ， ． 3C-SiC ［J］． ，2017 ，15 (2) 路 远 董培涛 吴学忠 微悬臂梁弯曲法测量 薄膜断裂强度 纳米技术与精密工程 :87-92． Lu Yuan ，Dong Peitao ，Wu Xuezhong． Measurement of fracture strength of thin 3C-SiC films by bendi